Máy X-ray kiểm tra bán dẫn Nordson Quadra 7 Pro (Model: MXI Quadra 7 Pro)

Mô tả

Máy X-ray kiểm tra bán dẫn Nordson Quadra 7 Pro là model cao cấp nhất trong dòng Quadra Pro Series, đạt độ phân giải nhận diện dưới 100 nm nhờ ống phát Dual Mode QuadraNT thế hệ 4. Đầu dò Onyx HL 6,5 MP kết hợp màn hình cong 40 inch 5120 x 2160 mang lại hình ảnh sắc nét cho cả ứng dụng bán dẫn lẫn PCBA phức tạp.

Vì sao chọn máy X-ray kiểm tra bán dẫn Nordson Quadra 7 Pro?

Máy X-ray kiểm tra bán dẫn Nordson Quadra 7 Pro sở hữu công nghệ Dual Mode độc quyền.

Công nghệ này tự động chuyển đổi giữa hai chế độ vận hành khác nhau.

Chế độ công suất cao phù hợp mẫu dày và mật độ linh kiện lớn.

Chế độ độ phân giải cao lại tối ưu cho mẫu bán dẫn mỏng, nhạy liều X-ray.

Ống phát giữ được độ sáng gấp 10 lần so với ống thông thường.

Nhờ vậy, ảnh chụp luôn rõ nét dù ở điện áp nào cũng vậy.

Một số điểm nổi bật khác của dòng máy này gồm những mục sau.

• Đầu dò Onyx HL 6,5 MP, tốc độ khung hình 25 fps, nhiễu thấp.
• Công nghệ oil-free, dùng bơm ion nên không cần thay dầu chân không.
• Chương trình Quadra Life bảo hành trọn gói 5 năm, giảm rủi ro chi phí.

Toàn bộ tính năng trên giúp Quadra 7 Pro giữ vững độ lặp lại kết quả đo.

Thông số kỹ thuật của Quadra 7 Pro

Quadra 7 Pro dùng ống Mk4 Dual Mode, công suất tối đa 20 W.

Ống hoạt động ở điện áp từ 30 đến 160 kV tuỳ chế độ.

Độ phân giải nhận diện chi tiết đạt dưới 100 nm, tương đương 0,1 µm.

Đầu dò Onyx HL cho độ phân giải 6,5 MP, điểm ảnh hiệu dụng 50 µm.

Diện tích cảm biến đạt 16.000 mm² trên toàn bộ đầu dò.

Đây là các thông số khác của máy X-ray kiểm tra bán dẫn Nordson Quadra 7 Pro.

• Vùng kiểm tra tối đa: 510 x 445 mm, phóng đại tới x750.
• Góc nghiêng quan sát: 2 x 70 độ, không cần xoay mẫu vật.
• Màn hình cong Ultra Wide 40 inch, độ phân giải 5120 x 2160.
• Hệ chống rung chủ động, tùy chọn thêm bàn µCT hoặc giá đỡ wafer.

Máy nặng khoảng 1.950 kg, kích thước 1,57 x 1,50 x 1,90 m.

Mức bức xạ an toàn dưới 1 µSv mỗi giờ, phù hợp phòng sạch tiêu chuẩn.

Ứng dụng chuyên sâu trong ngành bán dẫn và đóng gói IC

Với độ phân giải 0,1 µm, Quadra 7 Pro thiết kế riêng cho bán dẫn hậu kỳ.

Máy cũng phù hợp kiểm tra đóng gói tiên tiến trong phòng lab hiện đại.

Máy có thể phát hiện lỗ rỗng trong TSV rất nhỏ.

Kích thước micro bump và copper pillar được đo với độ chính xác cao.

Trong phòng lab R&D, máy X-ray kiểm tra bán dẫn Nordson Quadra 7 Pro thường dùng cùng phụ kiện X-Plane.

Phụ kiện µCT cũng hay được kết hợp để dựng ảnh 3D chi tiết.

Một số ứng dụng chuyên sâu tiêu biểu gồm những nhóm sau.

• Bán dẫn tiên tiến: FO-WLP, đóng gói 3D, kiểm tra độ lấp đầy TSV.
• Đóng gói IC: wire bonding, memory, CPU/GPU, kiểm tra void mối hàn.
• Phân tích lỗi: soi mẫu offline, xác định nguyên nhân gốc rễ.
• Nghiên cứu phát triển: đánh giá công nghệ đóng gói mới trước khi sản xuất.

Nhờ độ chi tiết vượt trội, Quadra 7 Pro giúp phát hiện lỗi mà hệ thấp hơn dễ bỏ sót.

Hình 1: Giao diện phần mềm Revalution khi vận hành kiểm tra X-ray

Kết luận

Sở hữu độ phân giải dưới 100 nm cùng công nghệ Dual Mode độc quyền, máy X-ray kiểm tra bán dẫn Nordson Quadra 7 Pro là lựa chọn hàng đầu cho các ứng dụng bán dẫn và đóng gói tiên tiến.

Nếu doanh nghiệp cần độ chính xác cao nhất cho phòng lab hoặc dây chuyền sản xuất bán dẫn, hãy liên hệ với chúng tôi để nhận tư vấn cấu hình Quadra 7 Pro chi tiết.