Kính hiển vi lực nguyên tử Park FX300 – Park Systems

Park FX300 – AFM Wafer 300 mm hàng đầu cho ứng dụng công nghiệp và nghiên cứu tiên tiến

Park FX300 được thiết kế để phá vỡ ranh giới giữa nghiên cứu và ứng dụng công nghiệp, biến nó trở thành một bước đột phá thực sự trong lĩnh vực kính hiển vi lực nguyên tử (AFM).

Hệ thống này hỗ trợ nhiều ứng dụng AFM, được tối ưu cho nghiên cứu, kiểm soát chất lượng và đảm bảo độ tin cậy. Với khả năng tự động hóa tiên tiến của dòng FX, Park FX300 mang lại sự tiện lợi và hiệu quả vượt trội cho người dùng.

Với khả năng xử lý mẫu wafer lên tới 300 mm, hệ thống được tích hợp các tính năng an toàn tiêu chuẩn ở cấp công nghiệp, đồng thời có thể trang bị thêm bộ lọc khí sạch (Fan-filter unit – FFU) để nâng cao độ toàn vẹn của mẫu.

Những tính năng tiên tiến này khiến Park FX300 trở thành giải pháp thiết yếu cho các ứng dụng sau xử lý bán dẫn, đóng gói ở cấp độ wafer, cũng như nhiều lĩnh vực nghiên cứu và phát triển công nghiệp tiên tiến khác.

Phạm vi mẫu lớn & Hiệu suất vượt trội

• Được thiết kế để xử lý wafer kích thước 300 mm, FX300 lý tưởng cho nghiên cứu, kiểm soát chất lượng và đảm bảo độ tin cậy trong sản xuất bán dẫn.

• Hỗ trợ các phép đo AFM tiên tiến: điện học, cơ-nano, nhiệt và từ tính, đáp ứng nhu cầu phân tích vật liệu đa dạng.

Cấu trúc cơ khí ổn định & Tín hiệu chính xác

• Cải tiến cấu trúc cơ học giúp giảm nhiễu hoạt động và trôi nhiệt, cho phép hình ảnh độ phân giải cao, chính xác hơn.

• Chùm tia laser nhỏ (11 μm) qua độ hội tụ SLD qua thấu kính, tăng tính tương thích với các cần quét tốc độ cao và cải thiện độ nhạy cảm.
• Servo trục Z tốc độ cao nhờ piezo stack mạnh và thiết kế flexure, cùng bộ điều khiển FX mới mang lại hiệu suất và độ chính xác tối ưu.

Tạo đột phá cho ứng dụng công nghiệp

• Được trang bị Sliding Stage để đo phẳng trên bề mặt rộng (như pad đồng trong quá trình bán dẫn), Rotation Stage hỗ trợ căn chỉnh wafer chính xác và hệ thống Off-Axis Optics nâng cao hiệu quả quan sát.

• Fan Filter Unit (FFU) tùy chọn đảm bảo môi trường sạch, phù hợp với tiêu chuẩn phòng trắng (cleanroom).

Tự động hóa thông minh – Nâng cao hiệu suất

• Tự động nhận dạng đầu dò (probe) qua mã QR, thay đổi và căn chỉnh laser tự động, giảm thiểu can thiệp thủ công và tối đa hóa độ chính xác.

• StepScan™ cho phép thực hiện đo tuần tự tại nhiều tọa độ định sẵn (topography, chế độ nâng cao) — tối ưu hóa quy trình làm việc trong phòng thí nghiệm và sản xuất.