Thermo Fisher Scientific Scios 3S FIB-SEM – Kính hiển vi điện tử quét chùm ion hội tụ
Mô tả ngắn
Hãng sản xuất: Thermo Fisher Scientific
Thermo Scientific Scios 3S FIB-SEM là hệ thống kính hiển vi DualBeam tiên tiến, kết hợp giữa kính hiển vi điện tử quét (SEM) độ phân giải siêu cao và chùm ion hội tụ (FIB) mạnh mẽ. Thiết bị được thiết kế để vừa quan sát hình ảnh vi cấu trúc với độ chi tiết tới thang nanomet, vừa thực hiện thao tác khắc, cắt và chuẩn bị mẫu chính xác cho phân tích nâng cao. Nhờ trang bị cột electron NICol cùng cột ion Tomahawk HT, Scios 3S mang lại khả năng chụp ảnh sắc nét, xử lý mẫu nhanh chóng và chuẩn bị lamella TEM chất lượng cao. Bên cạnh đó, hệ thống tự động hóa thông minh, phần mềm phân tích 3D, cùng khả năng tích hợp nhiều công cụ hỗ trợ giúp Scios 3S trở thành giải pháp toàn diện cho nghiên cứu vật liệu, bán dẫn, năng lượng và khoa học sự sống.
HỖ TRỢ NHANH
THÔNG TIN SẢN PHẨM
- Mô tả
Mô tả
Thermo Scientific Scios 3S FIB-SEM là hệ thống kính hiển vi DualBeam thế hệ mới, kết hợp sức mạnh của kính hiển vi điện tử quét (SEM) độ phân giải siêu cao với chùm ion hội tụ (FIB) mạnh mẽ. Thiết bị được thiết kế để mang lại khả năng quan sát chi tiết cấu trúc ở cấp độ nanomet, đồng thời thực hiện gia công mẫu chính xác, chuẩn bị lamella TEM và phân tích 3D tự động. Với hiệu suất vượt trội, phần mềm thông minh và khả năng tích hợp nhiều công nghệ phân tích tiên tiến, Scios 3S trở thành giải pháp lý tưởng cho các phòng thí nghiệm nghiên cứu, trung tâm R&D và các ngành công nghiệp vật liệu, bán dẫn, năng lượng và công nghệ cao.
1. Cấu tạo & Thiết kế
- Cột electron NICol với súng Schottky FEG mang lại độ phân giải cực cao: 0,7 nm ở 30 keV (STEM) và 1,4 nm ở 1 keV, cải thiện hơn nhờ beam deceleration.
- Cột ion Tomahawk HT hỗ trợ khoan mẫu hiệu suất cao từ 1 pA đến 100 nA, ở điện áp từ 500 V đến 30 kV.
- Hệ phát hiện kép (DualBeam) gồm Trinity Detection (in-lens và in-column), Everhart-Thornley SE, BSE, ICE, và tùy chọn STEM 3+ cùng camera Nav-Cam điều hướng mẫu.
- Stage mẫu 5 trục motorized, hỗ trợ xoay 360°, di chuyển XY 110 mm, Z 65 mm, nghiêng –38° đến +90°, chịu tải đến 5 kg
2. Thông số kỹ thuật chính
- Độ phân giải: 0,7 nm ở 30 keV (STEM); 1,4 nm ở 1 keV
- Ion optics: Tomahawk HT
- Dải dòng electron: 1 pA – 400 nA
- Dải năng lượng electron: 20 eV – 30 keV
- Dòng ion: 1 pA – 100 nA
- Nhiều loại detector: Trinity, ETD, BSE, ICE, STEM 3+, Nav-Cam
- Stage: 5 trục, 110 × 65 mm, xoay 360°, nghiêng –38° đến +90°
3. Tính năng nổi bật
- Ultra-high resolution imaging nhờ cột NICol và beam deceleration.
- Tự động hóa mạnh mẽ: Auto Cross Section cho cắt mặt, Auto Slice & View 5 cho chụp 3D, giúp tăng chất lượng và hiệu suất.
- Chuẩn bị mẫu TEM (lamella) tự động cùng AutoTEM 5, giúp xử lý nhanh với tổn hại tối thiểu.
- Thí nghiệm thực tế với μHeater MEMS (gia nhiệt nhanh) và low-vacuum mode cho mẫu nhạy không khí.
- Hệ thống hóa học MultiChem cho các ứng dụng etching/deposition bổ trợ vật liệu.
- Giao diện thân thiện, hỗ trợ undo/redo, hướng dẫn người dùng, phù hợp cả người mới
4. Ứng dụng điển hình
- Phân tích cấu trúc vi mô và thất bại vật liệu, chẳng hạn mạ phủ, pin, hợp kim
- Phân tích 3D đa chiều, bao gồm EDS, EBSD cho thông tin thành phần và tinh thể học
- Chuẩn bị lamella TEM site-specific nhanh chóng cho nghiên cứu vật liệu và chất bán dẫn
- Nghiên cứu vật liệu nhạy như pin lithium hoặc phủ dễ bay hơi, nhờ low-vacuum và μHeater
- Ứng dụng nâng cao trong R&D vật liệu tiên tiến, sản xuất, kiểm soát chất lượng, và nghiên cứu nanostructure
Với thiết kế hiện đại, tự động hóa mạnh và khả năng phân tích đa năng, Thermo Scientific Scios 3S FIB-SEM là lựa chọn xuất sắc cho các phòng thí nghiệm R&D và ứng dụng vật liệu cao cấp.
Để tìm hiểu thêm về ưu điểm và tính năng của thiết bị, vui lòng liên hệ chúng tôi để được hỗ trợ tư vấn trực tiếp.
