Hệ Thống Quang Phổ Ellipsometry FilmTek SE

Mô tả ngắn

Hãng sản xuất: Bruker

FilmTek SE của Bruker là hệ thống quan phổ ellipsometry dùng thiết kế bộ trễ pha quay để đo chính xác độ dày và hằng số quang học (n, k) của màng mỏng, kể cả các lớp hấp thụ mạnh hoặc cấu trúc nhiều lớp phức tạp. Thiết bị cho phép thu thập đồng thời dữ liệu biên độ và pha, giảm sai số mô hình và mở rộng phạm vi ứng dụng trong nghiên cứu cũng như sản xuất bán dẫn, quang học và vật liệu tiên tiến.

HỖ TRỢ NHANH

Thiết bị: 0983 169 517

Hóa chất: 0912 850 130

THÔNG TIN SẢN PHẨM

Mô tả

Mô tả

Tóm tắt nội dung

Hệ thống ellipsometry quang phổ với thiết kế bộ trễ pha quay để xác định đặc tính màng mỏng chính xác

FilmTek SE là mẫu cơ bản của dòng sản phẩm “SE – Spectroscopy Ellipsometry” của Bruker, máy ellipsometry để bàn tự động FilmTek™ SE cung cấp cho người dùng một tùy chọn hợp lý để nhanh chóng và dễ dàng thu thập các phép đo có độ chính xác cao, có thể lặp lại trên nhiều mẫu màng mỏng và siêu mỏng.

Máy ellipsometry để bàn FilmTek SE dành cho phép đo tại một điểm và có thể cấu hình với bàn dịch chuyển XY thủ công hoặc tự động. Chỉ với một nút bấm, hàng nghìn bước sóng được thu thập đồng thời trong vài giây, và tính năng tự động lấy nét tích hợp giúp loại bỏ công đoạn căn chỉnh mẫu thủ công tốn thời gian mà các ellipsometer tương tự thường yêu cầu. Phần mềm mô hình hóa màng cùng công thức tán sắc do Bruker phát triển cho phép xử lý dữ liệu dễ dàng, mang lại kết quả chính xác và đáng tin cậy theo thời gian thực.

Tinh giản

Với cấu hình tiêu chuẩn đạt được tốc độ và độ chính xác tốt nhất mà không cần thêm tiện ích bổ sung hoặc mô-đun.

Giá trị tốt nhất

Cung cấp phép đo màng mỏng hiệu suất cao cho nhiều loại mẫu với chi phí thấp.

Dễ sử dụng

Đảm bảo người dùng ở mọi trình độ kinh nghiệm đều có thể thu thập dữ liệu đo ellipsometry chất lượng cao nhất.

Khả năng đo lường của Ellipsomtry FilmTek 200

Cho phép xác định đồng thời:

Độ dày nhiều lớp
Chỉ số khúc xạ [ n(λ) ]
Hệ số hấp thụ (k(λ) ]
Khoảng cách dải năng lượng [ Eg ]
Hệ số dẫn điện/điện môi
Độ nhám bề mặt
Độ dày và tính chất lớp giao diện.
Hệ số dẫn điện/quang nếu kết hợp với mẫu dẫn hoặc tích hợp module đặc biệt.
Hệ số hấp thụ α(λ)
Tỉ lệ pha tạp hoặc thành phần hợp kim khi mô hình phù hợp (ví dụ: SiGe, InGaAs).

Thành phẩn của hệ thống Ellipsometry

Tiêu chuẩn:

Phép đo ellipsometry quang phổ với thiết kế bù xoay (390nm-950nm)
Bệ mẫu tự động với chức năng tự động lấy nét
Lý tưởng để đo màng siêu mỏng (độ lặp lại 0,03 Å trên oxit tự nhiên)
Giá cả phải chăng cho hầu hết mọi ngân sách
Phần mềm mô hình hóa vật liệu tiên tiến
Mô hình vật liệu tổng quát của Bruker với các thuật toán tối ưu hóa toàn cục tiên tiến

Các lĩnh vực ứng dụng điển hình

Hầu như tất cả các màng phim trong suốt có độ dày từ dưới 100 Å đến khoảng 50 µm đều có thể được đo với độ chính xác cao.

Phần cứng và phần mềm linh hoạt có thể dễ dàng được điều chỉnh để đáp ứng các yêu cầu riêng biệt của khách hàng, đặc biệt là trong môi trường học thuật và R&D.

Các lĩnh vực ứng dụng điển hình bao gồm: