Hệ Thống SE & RE FilmTek 2000 SE – Hệ Thống Kết Hợp Ellipsometry và Reflectometry

Hệ thống Ellipsometry và Reflectometry Filmtek 2000 SE

Mô tả ngắn

Hãng sản xuất: Bruker

FilmTek 2000 SE của Bruker là hệ thống để bàn kết hợp quang phổ ellipsometry và quang phổ reflectometry, sử dụng thiết kế rotating compensator, bàn dịch chuyển XY thủ công hoặc tự động, và tính năng tự động lấy nét. Hệ thống cho phép thu đồng thời dữ liệu SE và SR, giúp xác định nhanh, chính xác độ dày và hằng số quang học (n, k) của màng mỏng đơn lớp hoặc đa lớp, kể cả màng hấp thụ mạnh, với khả năng lập bản đồ wafer 2D/3D và xử lý kết quả theo thời gian thực bằng phần mềm mô hình hóa tiên tiến của Bruker.

HỖ TRỢ NHANH

Thiết bị: 0983 169 517

Hóa chất: 0912 850 130

THÔNG TIN SẢN PHẨM

Mô tả

Mô tả

Tóm tắt nội dung

Hệ thống reflectometry đa góc và phép đo ellipsometry để lập bản đồ màng mỏng và nhiều lớp tiên tiến trên màng không có hoa văn

FilmTek™ 2000 SE là hệ thống ellipsometer quang phổ để bàn, được trang bị bàn dịch chuyển tự động có thể chứa wafer đường kính 300 mm, cho phép đo độ đồng đều của màng mỏng. Sử dụng thiết kế bộ trễ pha xoay tiên tiến, 2000 SE mang lại hiệu suất và tốc độ đo vượt trội cho các ứng dụng màng mỏng. Phần mềm mô hình hóa màng cùng công thức tán sắc độc quyền do Bruker phát triển giúp xử lý dữ liệu dễ dàng, cung cấp kết quả chính xác và đáng tin cậy theo thời gian thực.

Nâng cao

Độ nhạy và phạm vi được cải thiện cho phép cho đo chính xác và lặp lại hơn

Mở rộng

Dải phổ DUV-NIR, cho phép thu thập dữ liệu phản xạ từ các vật liệu và cấu trúc màng mỏng khó hơn.

Thiết kế đa phương thức

Thiết kế đo ellipsometry và reflectometry cung cấp nhiều dữ liệu hơn với độ chính xác và khả năng lặp lại cao hơn so với từng kỹ thuật riêng lẻ, đặc biệt là đối với các phép đo chiết suất.

Khả năng đo lường

Cho phép xác định đồng thời:
Độ dày nhiều lớp
Chỉ số khúc xạ [ n(λ) ]
Hệ số hấp thụ [ k(λ) ]
Khoảng cách dải năng lượng [ Eg ]
Thành phần (ví dụ: %Ge trong SiGe, %Ga trong GaInAs, %Al trong AlGaAs, v.v.)
Độ nhám bề mặt
Thành phần, tỷ lệ rỗng
Độ kết tinh/Vô định hình (ví dụ: màng Poly-Si hoặc GeSbTe)
Độ dốc màng

Thành phần của hệ thống ellipsometry và reflectometry

Tiêu chuẩn:

Phép đo elip quang phổ với thiết kế bù xoay (300nm-1700nm)
Phản xạ quang phổ phân cực đa góc (240nm-1700nm)
Đo độ dày màng và chiết suất độc lập Bàn mẫu tự động với chức năng tự động lấy nét
Lý tưởng để đo màng siêu mỏng (độ lặp lại 0,03 Å trên oxit tự nhiên)
Phần mềm mô hình hóa vật liệu tiên tiến Mô hình vật liệu tổng quát của Bruker với các thuật toán tối ưu hóa toàn cục tiên tiến

Tùy chọn:

Phép đo elip tổng quát (phương pháp tổng quát hóa ma trận 4×4) cho phép đo dị hướng (nx, ny, nz)

Ứng dụng

Hầu như tất cả các màng phim trong suốt có độ dày từ dưới 1 Å đến khoảng 150 µm đều có thể được đo với độ chính xác cao.

Phần cứng và phần mềm linh hoạt có thể dễ dàng được điều chỉnh để đáp ứng các yêu cầu riêng biệt của khách hàng, đặc biệt là trong môi trường học thuật và R&D.

Các lĩnh vực ứng dụng điển hình bao gồm: