Hệ Thống Phản Xạ Kế UV Sâu FilmTek 2000 Để Bàn của Bruker

Mô tả

Hệ thống phản xạ kế sử dụng tia UV sâu tự động để lập bản đồ nhanh chóng và chính xác các màng phim không có hoa văn

FilmTek™ 2000 là một hệ thống phản xạ kế (Reflectometry) quang phổ để bàn, được trang bị bàn dịch chuyển hoàn toàn tự động và thiết kế để đặc trưng hóa nhanh chóng, đáng tin cậy và chính xác hầu như mọi màng mỏng không có hoa văn. Khả năng lập bản đồ wafer tùy chỉnh hoàn toàn cho phép tạo nhanh các bản đồ dữ liệu 2D và 3D của bất kỳ thông số đo nào. Thiết bị có thể xác định đồng thời nhiều đặc tính màng chỉ trong chưa đến 1 giây cho mỗi điểm đo.

Với tùy chọn chức năng truyền sáng, Phản xạ kế FilmTek 2000 có thể nâng cấp thành FilmTek 3000. FilmTek 3000 là hệ thống kết hợp phản xạ – truyền sáng cho phép đo truyền sáng và phản xạ một cách hiệu quả và chính xác đối với các màng không hoa văn phủ trên đế trong suốt. Đây là giải pháp lý tưởng để đo độ dày và hằng số quang học của các màng hấp thụ rất mỏng.

Hợp lý hóa

Cung cấp khả năng tự động hóa và hiệu suất tốt nhất trong phân khúc của FilmTek

Tích hợp phần cứng và phần mềm

Mang lại sự dễ sử dụng và khả năng đo lường lặp lại bất kể trình độ kinh nghiệm của người vận hành

Cấu hình mô hình cơ bản thân thiện với ngân sách

Hỗ trợ chi phí sở hữu thấp hơn mà không ảnh hưởng đến chất lượng dữ liệu hoặc phạm vi ứng dụng.

Khả năng đo lường

Phản xạ kế cho phép xác định đồng thời:

• Độ dày nhiều lớp
• Chỉ số khúc xạ [ n(λ) ]
• Hệ số hấp thụ [ k(λ) ]
• Khoảng cách dải năng lượng [ Eg ]
• Thành phần (ví dụ: %Ge trong SiGe, %Ga trong GaxInAs, %Al trong AlGaAs, v.v.)
• Độ nhám bề mặt
• Thành phần, tỷ lệ rỗng
• Độ kết tinh/Vô định hình (ví dụ: màng Poly-Si, GeSbTe)
• Độ dốc màng

Thành phần của hệ thống phản xạ kế

Tiêu chuẩn:

• Máy quang phổ sợi quang DUV-NIR
• Đo phản xạ quang phổ
• Bệ mẫu tự động
• Phần mềm mô hình hóa vật liệu tiên tiến
• Mô hình vật liệu tổng quát của Bruker với các thuật toán tối ưu hóa toàn cục tiên tiến

Ứng dụng

Hầu như tất cả các màng phim trong mờ có độ dày từ dưới 100 Å đến khoảng 150 µm đều có thể được đo với độ chính xác cao. Các lĩnh vực ứng dụng điển hình bao gồm:

• Chất bán dẫn hợp chất
• LED/OLED
• Pin mặt trời quang điện

Với phần cứng và phần mềm linh hoạt, có thể dễ dàng tùy chỉnh để đáp ứng các yêu cầu riêng biệt của khách hàng trong môi trường học thuật, R&D và sản xuất.

Hãy liên hệ ngay với chúng tôi để biết thêm thông tin chi tiết.