Renishaw inLux™ SEM Raman interface – Thiết bị tích hợp 2 kỹ thuật phân tích SEM và Raman

Mô tả

Renishaw inLux™ SEM Raman interface là thiết bị phân tích Raman di động sản xuất bởi hãng Renishaw, tích hợp đầu dò sợi quang cho phép người dùng thực hiện các phép đo với chất lượng phòng thí nghiệm ngay cả trong điều kiện ngoài hiện trường hoặc tại chỗ. Thiết kế đa năng giúp thiết bị trở thành công cụ lý tưởng để nghiên cứu các mẫu lớn, khó tiếp cận hoặc cần phân tích ngay trong môi trường tự nhiên.

1. Đặc điểm nổi bật

inLux™ là giao diện Raman tích hợp trong SEM cho phép:

• Phân tích đồng thời: không cần di chuyển mẫu giữa hai hệ thống.
• Lấy dữ liệu Raman, SEM, EDS, CL và quang học trong cùng điểm phân tích.
• Retrofit dễ dàng: phù hợp với nhiều mẫu SEM phổ biến trên thị trường.
• Tự động căn chỉnh và an toàn: nhờ hệ thống encoder chính xác cao (50 nm).

2. Thông số kỹ thuật

• Loại thiết bị: Giao diện tích hợp Raman trực tiếp trong buồng SEM (In-situ Raman)
• Cơ chế tích hợp: Giao diện inLux™ gắn vào buồng SEM, đầu dò tích hợp gương parabol và lỗ electron
• Đồng bộ tiêu điểm: Electron beam và tia laser Raman đồng trục tại cùng điểm
• Độ chính xác định vị: <u>Encoder tuyệt đối Renishaw độ chính xác 50 nm</u> – giúp định vị và tái lặp vị trí phân tích Raman/SEM chính xác.
• Dải đo: 50 – 3200 cm⁻¹ (tùy theo laser và detector)
• Laser: Phụ thuộc cấu hình hệ thống Raman tích hợp: thường là 532, 660 hoặc 785 nm.
• Đầu dò Raman: Gắn cố định trong buồng SEM, sử dụng gương parabol có lỗ trung tâm (chùm electron xuyên qua)
• Phân tích: Raman, SEM, CL (Cathodoluminescence), quang học, EDS
• Hình ảnh Raman: 1D, 2D, 3D với Raman band mapping
• Hỗ trợ phần mềm:
  • WiRE™: thu và phân tích Raman
  • Correlate™: chồng ghép ảnh Raman – SEM – quang học
  • Particle Statistics: phân tích thống kê hạt (tùy chọn)
• Chế độ hình ảnh:
  • SE (Secondary Electrons)
  • BSE (Backscattered Electrons)
  • EDS (Energy Dispersive X-ray Spectroscopy)
  • CL (Cathodoluminescence – tuỳ option SEM)
• Đặc điểm thiết kế: Có thể rút đầu dò hoàn toàn khỏi buồng khi không sử dụng

• inLux™ không hoạt động độc lập mà là giao diện phụ kiện nâng cấp cho hệ thống Raman hiện có của Renishaw (như inVia™ hoặc Virsa™).

• Đầu dò tích hợp cần được thiết kế riêng cho từng buồng SEM, do đó việc cấu hình cần thông qua khảo sát kỹ thuật.

• Giao diện có thể được tháo lắp khi cần, không gây ảnh hưởng đến chức năng SEM gốc.

3. Tính năng nổi bật

• Đồng bộ Raman & SEM – Không cần di chuyển mẫu
  • Tối ưu hóa quy trình phân tích đa kỹ thuật.
  • Tránh sai lệch vị trí, ô nhiễm hoặc hư hỏng mẫu.
• Hình ảnh đa lớp – Thông tin toàn diện
  • Phối hợp hình ảnh: SEM (topo, nguyên tố), Raman (liên kết hóa học), CL (cấu trúc điện tử).
• Tự động hóa – Đơn giản hóa thao tác
  • Tự căn chỉnh đầu dò Raman theo trục e-beam chỉ với một nút nhấn.
  • Có thể vận hành và phân tích ngay cả với người dùng không chuyên.
• Phân tích không phá hủy – không cần xử lý mẫu
  • Không cần nhuộm, phủ dẫn hoặc cắt lát – giữ nguyên trạng mẫu gốc.

4. Công nghệ nổi bật

Công nghệ cốt lõi của inLux™ là tích hợp hoàn toàn đầu dò Raman vào trong buồng SEM (Scanning Electron Microscope) thông qua một giao diện phản xạ đồng trục độc quyền. Điều này cho phép:

• Chùm laser Raman và chùm điện tử (e-beam) hội tụ tại cùng một vị trí phân tích, cùng một thời điểm.

• Không cần dịch chuyển mẫu giữa các thiết bị – hạn chế ô nhiễm, trôi mẫu, hoặc sai lệch tọa độ.

• Phân tích liên tục và liền mạch giữa hình ảnh bề mặt (SEM) và thông tin phân tử (Raman), điều chưa từng có trước đây.

• Raman Spectroscopy
  • Thu thông tin về: Cấu trúc phân tử, Độ kết tinh. Ứng suất/nội ứng suất, Tính chất điện tử, polymorphs
  • Tích hợp đầy đủ chế độ: Stokes / anti-Stokes, Raman imaging 1D/2D/3D.
• Phần mềm Correlate™ & WiRE™
  • Tự động chuyển đổi tọa độ SEM → Raman.
  • Tạo ảnh chồng lớp: Raman + SEM + quang học.
  • Phân tích hạt, vùng khuyết tật, xác định thành phần vật liệu.
• Cathodoluminescence (CL)
  • Phát hiện cấu trúc điện tử, band gap, tạp chất và doping – hữu ích trong vật liệu bán dẫn.
• Energy Dispersive X-ray Spectroscopy (EDS)
  • Phân tích nguyên tố kết hợp với Raman để định danh cấu trúc hóa học.

5. Ứng dụng nổi bật

• Vật liệu – Khoáng sản – Địa chất
  • Phân biệt polymorphs TiO₂ (anatase, rutile, brookite)
  • Xác định khoáng vật, pha cấu trúc, dấu vết hóa học.
  • Ví dụ: Phát hiện hóa thạch Crinoid từ ảnh SEM + Raman + EDS.
• Bán dẫn – linh kiện điện tử
  • Xác định vùng lỗi trong epitaxial layer GaAs.
  • Phân tích ứng suất, khuyết tật cấu trúc vi mô, sai lệch năng lượng bandgap.
• Pin – năng lượng
  • Phân biệt graphite, amorphous carbon, và silicon trong anode pin Li-ion.
  • Phối hợp BSE và Raman để xác định cấu trúc phân bố điện cực.
• Dược phẩm
  • Xác định phân bố thành phần hoạt chất (API): budesonide và formoterol.
  • So sánh định lượng API dựa trên hình ảnh Raman – xác nhận đúng tỷ lệ liều lượng.
• Phát hiện và xác minh chất ô nhiễm
  • Ví dụ: Xác định chất dính UV-cure resin gây ô nhiễm chi tiết máy phun nhiên liệu.

Dịch vụ và hỗ trợ từ Renishaw

• Cung cấp giải pháp retrofit cho các dòng SEM hiện có.
• Hướng dẫn vận hành và phân tích tại chỗ.
• Cập nhật phần mềm WiRE™, Correlate™ định kỳ.
• Hỗ trợ kỹ thuật từ đội ngũ toàn cầu – nhanh chóng và chuyên sâu.
• Hệ sinh thái tích hợp: phần cứng – phần mềm – phụ kiện đồng bộ.
• Đội ngũ kỹ sư giàu kinh nghiệm trong nước được đào tạo bởi Renishaw

Liên hệ với chúng tôi để được tư vấn chi tiết về Renishaw inLux™ SEM Raman interface – giải pháp tiên tiến giúp tích hợp phổ Raman vào trong buồng hiển vi điện tử quét (SEM), cho phép thu đồng thời hình ảnh SEM và dữ liệu Raman mà không cần di chuyển mẫu.