Daeil Systems DVIA-MLP1000 – Hệ thống chống rung


Mô tả ngắn

Hãng sản xuất: Daeil Systems

Daeil Systems DVIA-MLP1000 Active Vibration Isolation System là hệ thống chống rung chủ động tân tiến, thiết kế đặc biệt cho các kính hiển vi điện tử quét (SEM) cao cấp. Khắc phục nhược điểm phải nâng SEM khi lắp đặt, DVIA-MLP1000 sử dụng phương pháp lắp đặt từ bên hông (side-push) đơn giản và tiết kiệm chi phí. Thiết bị có thiết kế thấp (low-profile), giữ nguyên tính tiện dụng khi quan sát và dễ tích hợp vào không gian hạn chế. Hệ thống hoạt động dựa trên nguyên lý kết hợp feedback và feedforward, cùng lò xo khí có tần số cộng hưởng thấp (<5 Hz), cho phép cách ly rung động từ 0.5 Hz và đạt hiệu suất 80–90 % ở 1 Hz, đảm bảo hình ảnh SEM ở cấp độ nanomet được rõ nét và ổn định. DVIA-MLP1000 bao gồm 4 bộ khuếch tán rung động chủ động, mỗi bộ được trang bị 11 cảm biến Geophone và 8 bộ truyền động điện từ, giúp kiểm soát toàn diện 6 bậc tự do (X, Y, Z và xoay pitch, roll, yaw). Với thiết kế tối ưu và hiệu suất ưu việt, DVIA-MLP1000 thực sự là bước ngoặt trong việc nâng cao chất lượng hình ảnh và độ chính xác trong nghiên cứu và ứng dụng SEM.

HỖ TRỢ NHANH

THÔNG TIN SẢN PHẨM

Mô tả

DVIA-MLP1000 Active Vibration Isolation System là hệ thống chống rung chủ động thế hệ mới, được thiết kế đặc biệt cho các dòng SEM cao cấp. Với cấu trúc low-profile và phương pháp lắp đặt side-push tiện lợi, thiết bị loại bỏ hiệu quả rung động từ 0.5 Hz, giúp hình ảnh đạt độ phân giải nanomet sắc nét và ổn định. Đây là giải pháp lý tưởng cho các phòng thí nghiệm, trung tâm R&D và ngành công nghiệp bán dẫn.

DVIA-MLP1000
Hệ thống chống rung DVIA-MLP1000

1. Cấu tạo & Thiết kế

  • Lắp đặt tiện lợi: Thiết kế side-push cho phép đưa DVIA-MLP1000 vào dưới SEM dễ dàng mà không cần nâng thiết bị, giữ nguyên độ cao quan sát và tiết kiệm chi phí lắp đặt.
  • Thiết kế low-profile: Kích thước 874 × 846 × 158 mm, không làm tăng quá nhiều chiều cao tổng thể SEM, phù hợp cho phòng thí nghiệm có không gian hạn chế hoặc buồng kính.
  • Cơ cấu di động: Có thể lắp bánh xe (casters) ở 4 phía, giúp việc di chuyển và vị trí được thực hiện dễ dàng.

2. Thông số kỹ thuật chính

  • Hiệu suất cách ly rung động: từ 0.5 Hz, đạt 80–90 % tại 1 Hz.
  • Cơ cấu cách ly chủ động: kết hợp feedback và feedforward control, cùng lò xo khí tần số cộng hưởng thấp <5 Hz.
  • Cảm biến và bộ truyền động: gồm 11 Geophone và 8 bộ truyền động điện từ gắn trên 4 isolator, bao phủ cả 6 bậc tự do chuyển động (X, Y, Z, pitch, roll, yaw).
  • Tải tối đa: hỗ trợ trọng lượng thiết bị lên đến 1,700 kg.

3. Tính năng nổi bật

  • Lắp đặt nhanh chóng và tiện lợi: không cần nâng SEM, làm giảm thời gian và công sức.
  • Hiệu quả cao ở tần số thấp: từ 0.5 Hz, xử lý rung động hiệu quả ở mức thấp nhất mà nhiều hệ thống khác không đạt được.
  • Điều khiển thông minh: điều khiển kết hợp feedback (phản hồi) và feedforward (tiên đoán), giúp tự động điều chỉnh theo dao động thực tế.
  • Ổn định trong nhiều môi trường sàn khác nhau: dùng lò xo khí nên ít phụ thuộc vào độ cứng nền lắp đặt.

4. Ứng dụng thực tiễn

  • SEM cao cấp (Thermo Fisher & SEM khác): nâng cao chất lượng hình ảnh nanomet, lý tưởng cho NanoSEM, Scios, Helios, Apreo…
  • Phòng R&D và đơn vị nghiên cứu vật liệu: cần độ ổn định hình ảnh cực cao để phân tích cấu trúc chi tiết.
  • Các ứng dụng yêu cầu chính xác cao: như vi điện tử, công nghiệp bán dẫn, phân tích bề mặt, FIB/SEM.

Với thiết kế thân thiện người dùng, hiệu suất cách ly rung động vượt trội và khả năng tích hợp linh hoạt, Daeil Systems DVIA-MLP1000 Active Vibration Isolation System là giải pháp hàng đầu cho mọi phòng thí nghiệm SEM chuyên nghiệp cần độ chuẩn xác tối đa và hình ảnh sắc nét ở cấp độ nanomet.

Để tìm hiểu thêm về ưu điểm và tính năng của thiết bị, vui lòng liên hệ chúng tôi để được hỗ trợ tư vấn trực tiếp.