Thermo Fisher Scios 3C FIB-SEM – Kính hiển vi điện tử quét chùm ion hội tụ

Mô tả

Thermo Scientific Scios 3C FIB-SEM là hệ thống kính hiển vi DualBeam thế hệ mới, kết hợp chùm ion hội tụ (FIB) và kính hiển vi điện tử quét (SEM) trong một nền tảng duy nhất. Thiết bị mang lại khả năng quan sát hình ảnh có độ phân giải cao cùng với chuẩn bị và phân tích mẫu chính xác ở cấp độ nano. Với thiết kế hiện đại, phần mềm tự động hóa thông minh và các tính năng phân tích 3D đa tín hiệu, Scios 3C là giải pháp lý tưởng cho nghiên cứu vật liệu tiên tiến, bán dẫn, pin, y sinh và nhiều ứng dụng công nghiệp công nghệ cao.

1. Cấu tạo & Thiết kế

• DualBeam (FIB-SEM) tích hợp một chùm ion (FIB) và một kính hiển vi điện tử quét (SEM) trên cùng một hệ thống, cho phép chuẩn bị mẫu và quan sát cắt ngang chất lượng cao ngay trong một môi trường động học kép.
• Cột electron NICol: sử dụng súng phát xạ Schottky ổn định, với hệ ống kính kép (dual objective lens) kết hợp ống kính điện từ và điện tĩnh, tự động căn chỉnh và sưởi ấm apertures, giảm nhiễu và tối ưu độ phân giải.
• Cột ion Sidewinder HT: hiệu suất cao, khả năng đánh bóng cuối và giảm thiệt hại mẫu với chế độ drift suppression cho mẫu không dẫn điện

2. Thông số kỹ thuật

• Độ phân giải electron: STEM: 0.7 nm tại 30 keV; SEM: 1.4 nm tại 1 keV; thêm 1.2 nm với beam deceleration tùy chọn.
• Dòng electron: 1 pA – 400 nA
• Ion optics: Sidewinder HT
• Điện áp electron: 200 V – 30 kV; năng lượng hạ xuống tối thiểu 20 eV
• Dải ion (FIB): 1.5 pA – 65 nA; điện áp 500 V – 30 kV; độ phân giải ion 3.0 nm.
• Hệ detector: Trinity System (T1 BSE, T2 SE, T3 tùy chọn), ETD SE, ICE detector, DBS BSE, STEM 3+ (BF/DF/HAADF), Nav-Cam cho định vị mẫu.
• Stage mẫu: Motor 5 trục, XY 110 mm, Z 65 mm, xoay 360°, nghiêng -38° đến +90°, tải mẫu đến 5 kg

3. Tính năng nổi bật

• Tự động hóa quy trình:
  • Auto Cross Section hỗ trợ tự động cắt và chụp được mặt cắt ngang chất lượng cao.
  • AutoTEM 5 hỗ trợ tự chuẩn bị lamella TEM/S(T)EM tại vị trí chính xác, giảm thiệt hại bề mặt nhờ ion năng lượng thấp.
  • Auto Slice & View 5 hỗ trợ thu thập dữ liệu 3D đa mô thức (SEM, EDS, EBSD) để tái tạo cấu trúc không gian ba chiều với phần mềm Avizo
• Giao diện thân thiện: hỗ trợ Undo/Redo, user guidance giúp người mới nhanh chóng làm quen, giảm gánh nặng sử dụng
• Độ phân giải cao trên nhiều loại mẫu: NICol column cho hình ảnh sắc nét, cả mẫu từ tính và không dẫn điện
• Cấu hình DualBeam linh hoạt để đáp ứng đa nhu cầu: phân tích bề mặt, siêu bề mặt và chuẩn bị mẫu phức tạp
• Các tùy chọn mở rộng: bao gồm tải mẫu nhanh (QuickLoader), làm sạch plasma, giải pháp cryo (CryoMAT), xử lý khí MultiChem, μHeater stage để nghiên cứu động nhiệt thực tế.

 

4. Ứng dụng

• Phân tích và cắt mặt cắt ngầm (cross-section): phân tích cấu trúc lớp bên trong vật liệu mà không làm hỏng toàn bộ mẫu.
• Chuẩn bị lamella TEM/S(T)EM chất lượng cao: tối ưu cho nghiên cứu vi cấu trúc ở cấp độ nguyên tử.
• Phân tích 3D đa tín hiệu: kết hợp hình ảnh SEM, compositional (EDS), crystallographic (EBSD) để khám phá cấu trúc vật liệu toàn diện.
• Ứng dụng đa ngành: từ vật liệu tiên tiến, bán dẫn, chế tạo chip, năng lượng (pin, composite), đến y sinh, nghiên cứu nano và giáo dục – nhờ gia0o diện dễ làm quen và hiệu suất cao.
• Đáp ứng môi trường R&D lẫn sản xuất: tự động hóa giúp tăng tốc độ thu thập data, hiệu quả cao trong môi trường sản xuất và nghiên cứu cấp cao

Thermo Scientific Scios 3C FIB-SEM là hệ thống FIB-SEM cao cấp, hội tụ các tiêu chuẩn: mô hình thiết kế linh hoạt, độ phân giải cao, tự động hóa thông minh, và khả năng tích hợp đa kỹ thuật. Đây là công cụ tối ưu cho các phòng thí nghiệm R&D, cơ sở đào tạo và doanh nghiệp cao cấp hoạt động trong lĩnh vực phân tích vật liệu tiên tiến.

Để tìm hiểu thêm thông tin chi tiết về sản phẩm vui lòng liên hệ chúng tôi để được tư vấn trực tiếp.