Kính hiển vi điện tử quét SEM Hitachi SU3900SE & SU3800SE

Mô tả

Dòng SE – Kết Hợp Giữa Hiệu Suất Cao và Tính Đa Dạng

Kính hiển vi điện tử quét SEM  SU3900SE / SU3800SE thuộc dòng FE-SEM, cung cấp khả năng quan sát có độ phân giải cao. Chúng kết hợp giữa thao tác đơn giản để thu thập dữ liệu dễ dàng với khả năng xử lý các mẫu lớn và nặng hơn so với các FE-SEM trước đây. Điều này giúp quan sát được các mẫu lớn và nặng như vật liệu công nghiệp (sắt, thép), linh kiện ô tô và các bộ phận liên quan đến hàng không vũ trụ.

Ngoài ra, dòng SE cung cấp bốn mẫu (hai loại với hai cấp độ), đáp ứng nhu cầu đo lường của nhiều lĩnh vực khác nhau.

Mỗi mẫu đều có những tính năng đặc biệt:

• Các mẫu buồng lớn mang lại hiệu suất tốt nhất trong phân tích tạp chất và khuyết tật, giúp cải thiện chất lượng và năng suất.
• Các mẫu Plus lý tưởng cho việc quan sát cấu trúc bề mặt tinh vi, mở ra cơ hội nâng cao trong sản xuất linh kiện điện tử và bán dẫn.

SEM Schottky với Buồng Mẫu Lớn – Mở Rộng Khả Năng Ứng Dụng

Việc đánh giá hình dạng bằng kính hiển vi điện tử là nền tảng của mọi quá trình đánh giá và phân tích vật liệu. Nhu cầu quan sát mẫu trong trạng thái nguyên bản luôn tồn tại.

Dòng kính hiển vi SU3900SE / SU3800SE được trang bị buồng mẫu đa năng có độ cứng vững cao, cho phép đặt mẫu trực tiếp mà không cần xử lý trước.

Điều này giúp loại bỏ nhu cầu mạ kim loại đối với mẫu không dẫn điện, cũng như tránh việc cắt hoặc phá vỡ các mẫu lớn và nặng, đồng thời cho phép quan sát từ nhiều góc độ khác nhau.

Độ Phân Giải Cao – Cải Thiện Hình Ảnh Bề Mặt

Dòng kính hiển vi SU3900SE / SU3800SE sử dụng súng điện tử Schottky thế hệ mới, giúp cải thiện độ phân giải ở cả điện áp gia tốc cao và thấp. Ngoài ra, phiên bản nâng cao (SE Plus) được thiết kế để đáp ứng nhu cầu quan sát chi tiết bề mặt ở mức độ tinh vi hơn.

Hệ thống còn được trang bị bộ dò electron phản xạ ngược (BSE) nhạy cao ở điện áp gia tốc thấp, giúp thu thập thông tin về thành phần và địa hình bề mặt.

Khi kết hợp với bộ dò áp suất siêu biến thiên (UVD) tùy chọn, thiết bị có thể thực hiện phân tích đa chiều thông qua việc thu nhận nhiều loại thông tin khác nhau.

Tự Động Hóa và Các Chức Năng Hỗ Trợ Cải Thiện Tính Dễ Sử Dụng

Dòng kính hiển vi SU3900SE / SU3800SE được trang bị chức năng tự động điều chỉnh quang học, giúp giảm bớt thao tác thủ công. Chức năng căn chỉnh tự động loại bỏ nhu cầu điều chỉnh thủ công các thông số như căn chỉnh chùm tia, khẩu độ, tiêu điểm và stigmation.

Ngoài ra, hệ thống còn hỗ trợ EM Flow Creator, cho phép tự động hóa các thao tác như chụp ảnh tuần tự. Người dùng có thể thiết lập chuỗi quy trình quan sát bằng cách đặt các thông số như độ phóng đại, vị trí bàn mẫu, tiêu điểm và độ tương phản thành các khối lệnh, sau đó kết hợp chúng lại để tạo ra quy trình tùy chỉnh.

Việc tạo quy trình rất đơn giản, chỉ cần kéo và thả các khối lệnh theo sơ đồ dòng chảy. Khi quy trình đã được thiết lập, hệ thống có thể thực hiện quan sát tự động, giúp nâng cao hiệu suất làm việc.

 

Specifications

Item			SU3900SE/SE Plus	SU3800SE/SE Plus
Electron Optics	Secondary Electron Image resolution		0.9 nm@30 kV
			2.5 nm@1 kV
			1.6 nm@1 kV (*1) (*2)
	Magnification		5～600,000×
	Electron Gun		ZrO/W Schottky Emitter
	Accelerating Voltage		0.5 kV～30 kV
	Landing Voltage (*1) (*2)		0.1 kV～2 kV
	Probe Current		Max. 150 nA
Pressure Range	Variable Pressure (VP) mode		6 to 150 Pa
Detectors	Standard Detectors		Secondary Electron Detector (SED)
			TOP detector (TD) (*2)
			41+1-segment Semiconductor Type Backscattered Electron Detector (BSED)
	Optional Detector (*3)		Ultra Variable Pressure Detector (UVD)
Specimen Stage	Stage Control		5-axis Motor Drive
	Movable Range
		X	0～150 mm	0～100 mm
		Y	0～150 mm	0～50 mm
		Z	3～85 mm	3～65 mm
		T	-20～90°
		R	360°
Specimen Chamber	Mountable Specimen Size		Max. φ 300 mm	Max. φ 200 mm