Máy X-ray độ phân giải cao kiểm tra substrate SEC X-eye NF120A

Mô tả

Đối với các substrate và gói đóng bán dẫn cần độ chính xác cao nhất, máy X-ray độ phân giải cao kiểm tra substrate SEC X-eye NF120A ứng dụng ống nano-focus 200nm cùng công nghệ chống hư hại (damage free) độc quyền của SEC để soi micro-bump mà không ảnh hưởng tới linh kiện nhạy cảm. Thông số kỹ thuật của model NF120A được SEC công bố trên trang sản phẩm chính hãng.

Thông số kỹ thuật máy X-ray độ phân giải cao kiểm tra substrate SEC X-eye NF120A

Máy X-ray độ phân giải cao kiểm tra substrate SEC X-eye NF120A dùng ống phát tia X nano-focus open tube. Điểm hội tụ tối thiểu 0,2µm, điện áp tối đa 120kV, dòng phát 200µA. Đầu dò FPD đạt độ phân giải cao 12 triệu điểm ảnh, tốc độ khung hình 26FPS. Đây thuộc nhóm cao nhất trong dòng in-line AXI của SEC. Bàn thao tác di chuyển theo các trục X, Y, Z, T, DR. Kích thước bàn từ 200 x 50mm tới 260 x 100mm, hành trình 450 x 216 x 200mm.

Hệ thống hỗ trợ cả Oblique CT lẫn Cone-beam CT. Hành trình xoay-nghiêng 360°/70°, vùng chụp CT 200 x 100mm quanh tâm bàn. Độ phóng đại hình học đạt x2,5 đến x2.500 lần, phóng đại số lên tới x5.000 lần. Kích thước tổng thể máy khá lớn, 4.060 x 2.326 x 2.402mm, khối lượng khoảng 9.000kg. Đây là hệ thống in-line quy mô công nghiệp. Máy có tùy chọn bổ sung bàn wafer và đầu dò mở rộng.

Tính năng và ứng dụng của máy X-ray độ phân giải cao kiểm tra substrate SEC X-eye NF120A

Máy X-ray độ phân giải cao kiểm tra substrate SEC X-eye NF120A dùng ống nano-focus 200nm. Ống này do SEC tự sản xuất, hướng tới soi khuyết tật siêu nhỏ mà không gây hư linh kiện. Điểm nổi bật gồm:

• Độ phân giải cao nhất nhờ ống nano-focus open tube 200nm do chính SEC nghiên cứu, sản xuất.
• Phát hiện khuyết tật siêu cấu trúc với cả hai chế độ kiểm tra tự động 2D và 3D.
• Hệ thống tự động hóa chuyên soi khuyết tật siêu nhỏ ở micro-bump và cu pillar trên substrate.
• Công nghệ X-ray không gây hư hại độc quyền, dùng bộ chuẩn trực tự động 3D CT, lọc tia riêng.

Nhờ khả năng kiểm tra không gây hư hại, X-eye NF120A phù hợp cho dây chuyền đóng gói RAM. Máy cũng phù hợp cho Application Processor và chip nhớ dễ bị ảnh hưởng bởi tia X liều cao.

Kết luận

Như vậy, máy X-ray độ phân giải cao kiểm tra substrate SEC X-eye NF120A là giải pháp in-line phù hợp cho các gói bán dẫn nhạy cảm cần độ phân giải cao mà vẫn đảm bảo không gây hư hại linh kiện trong quá trình soi. Đây là lựa chọn đáng cân nhắc cho các nhà máy đóng gói RAM và chip nhớ cao cấp.

Liên hệ ngay để được tư vấn về máy X-ray độ phân giải cao kiểm tra substrate SEC X-eye NF120A phù hợp với sản phẩm của bạn.