Máy X-ray kiểm tra bán dẫn SEC X-eye NF120M

Mô tả

Khi cần soi những khuyết tật siêu nhỏ trong gói bán dẫn như micro-bump hay solder ball, máy X-ray kiểm tra bán dẫn SEC X-eye NF120M mang lại độ phân giải tối đa 0,2µm nhờ ống nano-focus open tube gắn theo cấu trúc mái (roof mounted). Thông số kỹ thuật đầy đủ của model NF120M được SEC công bố trên trang sản phẩm chính hãng.

Thông số kỹ thuật máy X-ray kiểm tra bán dẫn SEC X-eye NF120M

Máy X-ray kiểm tra bán dẫn SEC X-eye NF120M dùng ống phát tia X nano-focus open tube. Điểm hội tụ tối thiểu chỉ 0,2µm – mức nhỏ nhất trong các dòng offline của SEC. Điện áp tối đa 120kV, dòng phát 200µA. Đầu dò FPD đạt độ phân giải 3 triệu điểm ảnh, tốc độ khung hình 26FPS. Bàn thao tác di chuyển theo các trục X, Y, Z, T, DR. Kích thước bàn tối đa 12 inch, hành trình 450 x 450 x 200mm.

Hệ thống hỗ trợ cả Oblique CT lẫn Cone-beam CT. Hành trình xoay-nghiêng 360°/70°, vùng chụp CT đường kính 200mm quanh tâm bàn. Độ phóng đại hình học đạt x2,5 đến x2.500 lần, phóng đại số lên tới x50.000 lần. Kích thước tổng thể máy 2.200 x 1.500 x 2.150mm, khối lượng khoảng 8.000kg. SEC cung cấp tùy chọn bàn wafer và đầu dò bổ sung. Máy còn có module EFEM lắp tự động cho wafer, cùng phần mềm AXI.

Tính năng và ứng dụng của máy X-ray kiểm tra bán dẫn SEC X-eye NF120M

Máy X-ray kiểm tra bán dẫn SEC X-eye NF120M được thiết kế riêng cho kiểm tra thủ công gói bán dẫn. Máy đòi hỏi độ phân giải cực cao. Những tính năng chính gồm:

• Hệ thống không phá hủy được thiết kế riêng cho kiểm tra thủ công gói bán dẫn.
• Độ phân giải tối đa 0,2µm cho phép quan sát các cấu trúc nano nhỏ nhất trong chip.
• Cấu trúc ống gắn kiểu mái giúp thu được hình ảnh có độ phân giải cao nhất có thể.
• Đối tượng kiểm tra gồm tất cả loại bán dẫn kể cả Wafer Level Packaging.
• Phát hiện các lỗi Bump Solder Ball, Void, Short, Bridge, Big Solder Ball, Missing, Via…

Với danh mục lỗi kiểm tra chi tiết như trên, X-eye NF120M phù hợp cho phòng thí nghiệm và bộ phận R&D. Máy giúp phân tích lỗi ở cấp độ vi mô trước khi cải tiến quy trình sản xuất.

Hình 1: Hình ảnh chụp X-ray CT của  CU pillar bump 

Kết luận

Tổng kết lại, máy X-ray kiểm tra bán dẫn SEC X-eye NF120M là thiết bị chuyên sâu dành cho những khuyết tật siêu nhỏ mà các máy X-ray tiêu chuẩn khó phát hiện được. Độ phân giải 0,2µm cùng khả năng chụp CT linh hoạt giúp máy trở thành công cụ đắc lực cho R&D và QC bán dẫn cao cấp.

Liên hệ ngay để được tư vấn về máy X-ray kiểm tra bán dẫn SEC X-eye NF120M phù hợp với nhu cầu phân tích của bạn.