Park NX15 – “Chìa khóa” tăng năng suất cho đo lường mẫu lớn

Park NX15 là hệ AFM công nghệ cao nhưng có giá thành hợp lý, được thiết kế đặc biệt cho việc kiểm tra các mẫu kích thước lớn. Đây là một trong những sản phẩm có tỷ suất giá trị trên hiệu năng hàng đầu trong phân khúc AFM mẫu lớn hiện nay.

Hệ thống AFM có chi phí hợp lý nhất cho đo lường và phân tích wafer

Park NX15 là một hệ thống AFM tiên tiến với chi phí tối ưu, mang lại hiệu năng hàng đầu trong việc kiểm tra các mẫu kích thước lớn. Đây là một công nghệ AFM hiện đại được thiết kế đặc biệt cho việc kiểm tra mẫu lớn và được trang bị nhiều tính năng sáng tạo.

Tăng Năng Suất với Hệ Thống AFM Đa Năng Mạnh Mẽ

Park NX15 được trang bị nhiều tính năng độc đáo, lý tưởng cho các phòng thí nghiệm dùng chung xử lý đa dạng mẫu, cho các nhà nghiên cứu thực hiện các thí nghiệm đa biến, và cho các kỹ sư phân tích hỏng hóc làm việc với wafer. Với mức giá hợp lý và bộ tính năng mạnh mẽ, NX15 cũng là một trong những hệ thống AFM mẫu lớn có giá trị tốt nhất trong ngành.

Đo Mẫu Tiện Lợi Nhất với MultiSample Scan

Hệ thống AFM tiên tiến của chúng tôi được trang bị khả năng quét tự động, cho phép xử lý nhiều mẫu trong một lần vận hành nhờ mâm giữ mẫu đặc biệt có thể chứa tới 16 mẫu riêng lẻ. Hệ thống còn tích hợp bàn XY dịch chuyển mẫu hoàn toàn điều khiển bằng động cơ, với phạm vi di chuyển rộng tới 200 mm x 200 mm, đảm bảo khả năng bao phủ toàn diện và hiệu quả cao trong quá trình xử lý mẫu.

Quét XY Chính Xác nhờ Loại Bỏ Nhiễu Chéo

Hệ thống của chúng tôi được trang bị hai bộ quét độc lập, dạng vòng lặp kín cho XY và Z, đảm bảo các phép quét XY phẳng và vuông góc với độ cong dư thấp, mang lại chất lượng hình ảnh vượt trội. Được tăng cường bởi bộ điều khiển điện tử NX, hệ thống cung cấp các phép đo chiều cao chính xác hơn mà không phụ thuộc vào xử lý phần mềm, tối ưu hóa độ chính xác trên mọi chiều đo.

Tuổi Thọ Đầu Dò, Độ Phân Giải và Bảo Toàn Mẫu Tốt Nhất nhờ Chế Độ True Non-Contact™

Được trang bị tốc độ Z-servo nhanh, hệ thống của chúng tôi hỗ trợ Chế độ True Non-Contact™, giúp giảm thiểu mài mòn đầu dò và kéo dài tuổi thọ, đồng thời duy trì khả năng chụp ảnh với chất lượng cao và độ phân giải vượt trội.

Dải Chế Độ và Tùy Chọn Đa Năng

Hệ thống được trang bị bộ chế độ đo lường và phân tích toàn diện, có thể mở rộng khả năng thông qua các phụ kiện và nâng cấp tùy chọn. Ngoài ra, hệ thống còn hỗ trợ các phép đo điện tiên tiến, thiết yếu cho việc phân tích hỏng hóc (FA) chi tiết.