Máy đo biên dạng 3D LUPHOScan 260/420 HD

Tổng quan về máy đo biên dạng LUPHOScan 260/420 HD

LUPHOScan 260/420 HD là hệ thống đo hình 3D không tiếp xúc với độ chính xác cực cao, được thiết kế để đo các bề mặt quang học với hình dáng phức tạp—bao gồm các loại như aspheric, sphere, flat và freeform—với độ chính xác đo tuyệt đối tốt hơn ±50 nm (3σ) trên các bề mặt có độ dốc lên tới 90°.

Máy sử dụng công nghệ quét giao thoa đa bước sóng (MWLI® – Multi-Wavelength Interferometry), giúp cung cấp dữ liệu 3D mật độ cao thông qua quá trình quét xoắn ốc (spiral scan) trong lúc vật mẫu quay và cảm biến di chuyển theo toán học độ cao và bán kính.

Những tính năng nổi bật

1. Độ chính xác và độ tin cậy cao

• Độ chính xác tuyệt đối ≥ ±50 nm (3σ) trên các bề mặt dốc tới 90°

• Độ lặp lại rất tốt, với độ biến đổi power < ±20 nm (3σ) và PV < ±5 nm (3σ)

• Hệ thống có độ nhiễu rất thấp và chống nhiễu môi trường hiệu quả, nhờ khung Invar ổn định và khả năng bù nhiệt độ, áp suất

2. Linh hoạt đo nhiều loại bề mặt và vật liệu

• Đo được hầu hết các loại vật liệu: trong suốt, bóng, mờ, đánh bóng hoặc

• Có thể xử lý các hình dạng bề mặt phức tạp như “pancake”, gullwing, hay các mặt có điểm uốn cong (inflection points)

3. Kích thước mẫu lớn

• Hỗ trợ mẫu có đường kính tối đa lên tới 420 mm

4. Tốc độ đo cao

• Ví dụ: đo bề mặt Ø = 30 mm, Roc = 60 mm với mật độ 100 điểm/mm² mất ~1 phút 45 giây; mẫu Ø = 130 mm, Roc = 150 mm và 50 điểm/mm² mất ~3 phút 45 giây

5. Phần mềm hỗ trợ mở rộng (LUPHOSoft & LUPHOSwap)

• LUPHOSoft cung cấp các module đo các hình dạng không tiếp tục hoặc phức tạp như lens phân đoạn, annular, axioms, kỹ thuật phân tích dữ liệu nâng cao

• LUPHOSwap cho phép đo đồng thời hai mặt của thấu kính, xác định độ dày, độ lệch tâm (decenter), góc wedge, và định vị xoay theo bề mặt tham chiếu

6. Khung cơ-khí & hiệu chỉnh môi trường tiên tiến

• Khung sử dụng Invar để đảm bảo độ ổn định cơ học cao

• Tích hợp cảm biến nhiệt độ và áp suất, hệ thống bù và hiệu chuẩn liên tục với LUPHOSmart để đảm bảo độ chính xác ổn định trong điều kiện thực tế