Hệ thống Meridian WS-DP phân tích lỗi điện của toàn bộ tấm bán dẫn
Mô tả ngắn
Hãng sản xuất: Thermo Fisher Scientific
Thời gian sản xuất đóng vai trò quan trọng đối với lợi nhuận, các xưởng đúc tiên tiến, nhà sản xuất thiết bị tích hợp và các công ty không có nhà máy sẽ phải tốn kém khi phải chờ đến sau khi cắt và đóng gói để xác định nguồn lỗi điện. Hệ thống Thermo Scientific Meridian WS-DP cho phép xác định vị trí lỗi nhanh hơn bằng cách sử dụng máy kiểm tra sản xuất, bảng tải và thẻ thăm dò.
HỖ TRỢ NHANH
THÔNG TIN SẢN PHẨM
- Mô tả
- Tính năng
- Thông số kĩ thuật
Mô tả
Hệ thống Meridian WS-DP phân tích lỗi điện của toàn bộ tấm bán dẫn
Thời gian sản xuất đóng vai trò quan trọng đối với lợi nhuận, các xưởng đúc tiên tiến, nhà sản xuất thiết bị tích hợp và các công ty không có nhà máy sẽ phải tốn kém khi phải chờ đến sau khi cắt và đóng gói để xác định nguồn lỗi điện. Hệ thống Thermo Scientific Meridian WS-DP cho phép xác định vị trí lỗi nhanh hơn bằng cách sử dụng máy kiểm tra sản xuất, bảng tải và thẻ thăm dò.
Tất cả các tùy chọn chẩn đoán từ dòng sản phẩm Meridian đều có sẵn cho Meridian WS-DP, bao gồm: LVx, phát xạ, LADA và OBIRCH.
Hệ thống Meridian WS-DP cung cấp:
- Khả năng xác định các khiếm khuyết có hệ thống
- Tăng đáng kể thông lượng đo điện
- Tỷ lệ thành công xác định vị trí lỗi được cải thiện
- Giảm thời gian phân tích vật lý
Khả năng:
- Phát hiện phát xạ dựa trên InGaAs tiêu chuẩn
- Phát hiện phát xạ dựa trên DBX bước sóng mở rộng có độ nhạy cao
- Ống kính nhúng rắn “Point & Click” đã được cấp bằng sáng chế và được chứng minh trong ngành (SIL)
- Chỉ số die-to-die nhanh chóng
- Phạm vi lỗi động với giao diện ATE tốc độ cao
- Kính hiển vi quét laser (LSM) để phân tích tĩnh và động
- Khả năng tương thích với hầu hết các ứng dụng EDA của bên thứ ba phổ biến.
Hãy liên hệ với chúng tôi để được tư vấn về sản phẩm!
Hình ảnh điện áp laser
Hình ảnh điện áp laser (LVI) hiển thị vị trí vật lý của các bóng bán dẫn đang hoạt động ở tần số cụ thể trên hệ thống Meridian WS-DP.
Đầu dò điện áp laser CW
Công nghệ thăm dò điện áp bằng laser sóng liên tục (CW-LVP) thu thập dữ liệu dạng sóng chức năng trên hệ thống Meridian WS-DP.
Kính hiển vi phát xạ photon
Kính hiển vi phát xạ photon (PEM) trên nền tảng Meridian dựa trên sự kết hợp tối ưu giữa camera InGaAs hoặc DBX có độ nhạy cao và quang học hiệu chỉnh quang sai khẩu độ số (NA) cao. Hệ thống WS-DP của Meridian cung cấp hình ảnh xuyên silicon có độ phân giải cao để phân tích thiết bị mặt sau. Độ nhiễu thấp và độ nhạy cao cho phép dữ liệu phát xạ có tỷ lệ tín hiệu trên nhiễu không gì sánh bằng, dẫn đến phát hiện lỗi nhanh chóng ở cấp độ bóng bán dẫn. Cấu hình DBX cung cấp kết quả hàng đầu trong ngành ngay cả trên các thiết bị dưới 0,5 Vdd.
| Cơ khí | Khả năng tương thích ATE | Thiết bị kiểm tra ATE có sẵn trên thị trường và các giải pháp tùy chỉnh |
| Thẻ thăm dò / Bảng tải |
| |
| Số lượng chân thăm dò | Mảng thăm dò từ <100 đến >10.000 chân | |
| Chân không của bàn mẫu wafer | Lực chân không 20lbs cho độ ổn định của wafer | |
| Kiểm soát chuyển động | die-to-die stepping | Được hỗ trợ và tích hợp vào phần mềm Sierra |
| Chuyển động của tấm |
| |
| Hỗ trợ wafer/DUT |
| |
| Độ chính xác của kính hiển vi XYZ | 1 um | |
| Độ chính xác của giai đoạn wafer XY | 5um | |
| Khả năng tương thích kích thước khuôn | Một loạt các giải pháp |
