Máy đo biên dạng bề mặt quang học 3D S Neox Grand Format – Sensofar

S neox Grand Format

S neox Grand Format là hệ thống máy đo hình dạng 3D không tiếp xúc được thiết kế để quét bề mặt lớn với độ chính xác cao, chuyên dùng trong các ngành như bán dẫn, màn hình và PCB. Hệ thống cung cấp giải pháp toàn diện từ phần cứng đến phần mềm để phục vụ các ứng dụng đo metrology diện rộng.

Khả năng đo diện rộng không giới hạn

• Cơ cấu giá đỡ XY định vị khép kín (close-loop XY gantry) cho phép di chuyển đầu đo 600 × 600 mm với tốc độ cao lên đến 1 mét/giây—vượt qua giới hạn trọng lượng mẫu.

Tính an toàn và phù hợp phòng sạch

• Tuân thủ các tiêu chuẩn ngành như SEMI S2 và SEMI S8, cũng như được TÜV Rheinland công nhận về độ an toàn.

• Đầu cảm biến S neox Cleanroom tuân thủ ISO Class 1, vỏ bọc bằng thép không gỉ giúp giảm phát tán hạt bụi.

Công nghệ đo “3-in-1”

• Được trang bị ba công nghệ quang học tích hợp trong đầu cảm biến:

  1. Confocal

  2. Ai Focus Variation

  3. Interferometry (PSI, ePSI, CSI)

Cho phép lựa chọn kỹ thuật phù hợp tùy mẫu, đạt độ chính xác sub-nanometer.

Độ phân giải siêu cao

• Đọc chiều cao (vertical resolution) có thể đạt 0.1 nm

• Độ phân giải ngang (lateral resolution) vận đến 0.1 µm.

Hiệu suất và độ bền

• Trang bị hệ thống chống rung tích hợp, đảm bảo độ ổn định cao trong đo

• Khả năng hoạt động liên tục, không giới hạn trọng lượng, rất lý tưởng cho các mẫu lớn.

Phần mềm hỗ trợ mạnh mẽ

• Điều khiển bằng phần mềm SensoSCAN, phân tích dữ liệu bằng SensoVIEW và SensoPRO (tự động hóa phân tích dữ liệu).