Sản phẩm - Máy quang phổ quang điện tử tia X ESCALAB QXi Microprobe

Mô tả

Máy quang phổ quang điện tử tia X ESCALAB QXi Microprobe

Đáp ứng nhu cầu của bạn về hiệu suất phân tích và tính linh hoạt cao hơn với Máy quang phổ quang điện tử tia X (XPS) Microprobe Thermo Scientific™ ESCALAB™ QXi, kết hợp độ nhạy và độ phân giải phổ cao với khả năng chụp ảnh định lượng và đa kỹ thuật.

Máy quang phổ quang điện tử tia X ESCALAB QXi Microprobe là một thiết bị đa kỹ thuật có thể mở rộng và tối ưu hóa với tính linh hoạt và khả năng cấu hình vô song. Thiết bị này cực kỳ nhạy, tạo ra quang phổ chất lượng cao trong vài giây. Kiểm soát hệ thống, thu thập dữ liệu, xử lý và báo cáo được tích hợp liền mạch trong Hệ thống dữ liệu Thermo Scientific Avantage mạnh mẽ. Công nghệ tiên tiến, được điều khiển bởi phần mềm trực quan, đảm bảo kết quả và năng suất nhất thế giới.

ESCALAB QXi XPS Microprobe, với hệ thống đầu dò kép độc đáo, cũng cung cấp hình ảnh XPS tuyệt vời với độ phân giải không gian tuyệt vời.

Hãy liên hệ với chúng tôi để được tư vấn về sản phẩm!

XPS đơn sắc

Máy đơn sắc tinh thể đôi, hội tụ vi mô có vòng tròn Rowland 500 mm, sử dụng anot Al (hoặc anot kép Al và Ag với tùy chọn máy đơn sắc kép) và cho phép bạn chọn bất kỳ kích thước điểm mẫu nào trong khoảng từ 200 µm đến 900 µm.

Nguồn electron bão hòa

Một nguồn electron, đồng trục với thấu kính đầu vào của máy phân tích, được sử dụng để bù điện tích khi phân tích các mẫu không dẫn điện bằng nguồn tia X đơn sắc, trong khi nguồn thứ hai tạo ra cả các ion năng lượng thấp để hỗ trợ bù điện tích hiệu quả và các electron năng lượng thấp khi thấu kính từ không được sử dụng.

Ống kính và máy phân tích

Hệ thống thấu kính và máy phân tích trên ESCALAB QXi XPS Microprobe được tối ưu hóa cho cả quang phổ và hình ảnh song song; đường dẫn phân tích duy nhất có nghĩa là cùng một thông số thiết bị (ví dụ: năng lượng truyền qua) có thể được sử dụng cho cả quang phổ và hình ảnh.

Máy dò

ESCALAB QXi XPS Microprobe được trang bị hai hệ thống máy dò: một hệ thống được tối ưu hóa cho quang phổ, bao gồm một mảng bộ nhân electron sáu kênh và một hệ thống để chụp ảnh song song, bao gồm một cặp tấm kênh và một máy dò liên tục nhạy cảm với vị trí.

Súng ion

Máy đo vi mô ESCALAB QXi XPS có hai tùy chọn để phân tích độ sâu nhanh chóng, độ phân giải cao: súng ion EX06 tiêu chuẩn, được tối ưu hóa cho phương pháp bắn phá ion đơn nguyên tử và quang phổ tán xạ ion; và nguồn ion cụm khí và đơn nguyên tử tùy chọn, MAGCIS, có khả năng phân tích độ sâu ion đơn nguyên tử, phân tích độ sâu cụm ion và quang phổ tán xạ ion.

Kiểm soát kỹ thuật số

Tất cả các chức năng phân tích đều được điều khiển từ hệ thống dữ liệu Avantage dựa trên phần mềm Windows, nghĩa là toàn bộ quá trình phân tích có thể được thực hiện từ xa nếu cần

Căn chỉnh và hiệu chuẩn

Khối chuẩn có chứa các mẫu đồng, bạc và vàng có thể được sử dụng để đánh giá độ nhạy, thiết lập tính tuyến tính của thang năng lượng của máy phân tích, hiệu chuẩn nguồn ion, căn chỉnh máy đơn sắc tia X và xác định chức năng truyền của máy phân tích.

Căn chỉnh mẫu

Mọi trục chuyển động trên bệ mẫu đều được điều khiển bởi Hệ thống dữ liệu Avantage và một camera video kỹ thuật số có độ phân giải cao được lắp vào thiết bị và được căn chỉnh chính xác với vị trí phân tích.

Bộ điều khiển mẫu

Bộ dịch chuyển (HPT) 5 trục, điều khiển bằng máy tính, độ chính xác cao cho phép căn chỉnh mẫu chính xác để phân tích. Khi kết hợp với hệ thống nạp mẫu tự động mới, nó có thể được sử dụng để tự động trao đổi giá đỡ mẫu và chạy các thí nghiệm xếp hàng.

Hệ thống chân không

Buồng phân tích được chế tạo từ kim loại siêu dày 5 mm để tối đa hóa hiệu quả che chắn từ tính và buồng được bơm bằng cả bơm phân tử tuabin và bơm thăng hoa titan, cho phép buồng phân tích đạt được độ chân không tốt hơn 5 x 10-10 mbar.

Phòng chuẩn bị

Buồng Preploc tiêu chuẩn là buồng kết hợp khóa nhập mẫu và chuẩn bị, có các cổng phù hợp với nhiều thiết bị chuẩn bị mẫu khác nhau, chẳng hạn như đầu dò làm nóng/làm mát, súng ion, bình khí áp suất cao, chỗ đỗ mẫu và đầu vào khí.

Kết nối

Có thể nhập tọa độ đo lường vào Hệ thống dữ liệu Avantage từ các hệ thống kính hiển vi chuyên dụng bằng Phần mềm bản đồ Thermo Scientifc để xác định nhanh hơn các khu vực đo lường. Dữ liệu hình ảnh và quang phổ XPS có thể được thêm vào Phần mềm bản đồ để cho phép so sánh trực tiếp thông tin về cấu trúc và hóa học bề mặt.

 

Nguồn tia X đơn sắc	Nguồn Al K-Alpha tập trung vi mô hoặc nguồn Al K-Alpha và Ag L-Alpha hai cực dương tập trung vi mô tùy chọn
Phân tích	Máy phân tích bán cầu lưỡng cực, lấy nét kép, 180° với hệ thống máy dò kép để quang phổ và hình ảnh
Nguồn ion	Nguồn ion Monatomic EX06 được cung cấp theo tiêu chuẩn; tùy chọn cho nguồn ion chế độ kép MAGCIS
Hệ thống chân không	Hai máy bơm phân tử turbo cho buồng vào và buồng phân tích, với máy bơm quay hoặc máy bơm hỗ trợ không dầu; máy bơm thăng hoa titan 3 sợi tự động bắn cho buồng phân tích
Giai đoạn mẫu	Bệ mẫu 5 trục có khả năng làm nóng và làm mát mẫu Tùy chọn trao đổi mẫu hoàn toàn tự động từ trạm đỗ khóa tải đến buồng phân tích
Bao gồm các kỹ thuật phân tích tiêu chuẩn	Phổ quang điện tử tia X (XPS) Phổ mất năng lượng điện tử phản xạ (REELS) Phổ tán xạ ion (ISS)
Kỹ thuật phân tích tùy chọn	Đèn UV cho quang phổ điện tử UV (UPS) Nguồn tia X không đơn sắc cho HAXPES Nguồn điện tử phát xạ trường cho quang phổ điện tử Auger (AES) và SEM Phổ phát xạ quang ngược (IPES) Máy dò EDS
Phụ kiện tùy chọn	Hộp đựng găng tay, bình chuyển chân không, nguồn ion chùm tia rộng EX03, camera đĩa
Tùy chọn chuẩn bị mẫu	Giá đỡ mẫu làm nóng/làm mát, buồng chuẩn bị bổ sung, ống phân phối khí 3 cấp có thể nung, giai đoạn gãy, cơ sở lưu trữ mẫu