Kính hiển vi điện tử truyền qua Metrios 6 (S)TEM
Mô tả ngắn
Hãng sản xuất: Thermo Fisher Scientific
Kính hiển vi điện tử truyền qua (quét) Metrios 6 (S)TEM là giải pháp đo lường thế hệ mới, hoàn toàn tự động với năng suất và chất lượng dữ liệu được cải thiện cho phép đo lường TEM khối lượng lớn. Với phần cứng được thiết kế mới và khả năng dựa trên máy học, Metrios 6 (S)TEM cung cấp cải thiện năng suất trung bình 20% so với các giải pháp thế hệ trước.
HỖ TRỢ NHANH
THÔNG TIN SẢN PHẨM
- Mô tả
- Tính năng
Mô tả
Kính hiển vi điện tử truyền qua Metrios 6 (S)TEM
Thermo Scientific Metrios 6 (S)TEM là giải pháp đo lường thế hệ mới, hoàn toàn tự động với năng suất và chất lượng dữ liệu được cải thiện cho phép đo lường TEM khối lượng lớn. Với phần cứng được thiết kế mới và khả năng dựa trên máy học, Metrios 6 (S)TEM cung cấp cải thiện năng suất trung bình 20% so với các giải pháp thế hệ trước.
Metrios 6 (S)TEM bao gồm Smart Stage mới, máy dò Ultra-X EDS, tùy chọn nguồn X-CFEG độ sáng cao và phần mềm Smart Automation. Sự kết hợp này mang lại năng suất được cải thiện với tính toàn vẹn của dữ liệu, phân tích nguyên tố nhanh và tự động hóa không cần công thức cho các hoạt động phòng thí nghiệm có thể mở rộng quy mô và tối ưu hóa tài nguyên.
Hãy liên hệ với chúng tôi để được tư vấn về sản phẩm!
Tính năng của kính hiển vi điện tử truyền qua Metrios 6 (S)TEM
Tăng năng suất và tính toàn vẹn của dữ liệu
Thông lượng mẫu cao hơn được hỗ trợ bởi Smart Stage được thiết kế lại và hệ thống phát hiện Ultra-X EDS mới. Các tính năng này cung cấp hiệu suất đo lường TEM tăng khoảng 15% và phân tích nguyên tố EDS nhanh hơn gấp 2 lần. Smart Stage hỗ trợ tải mẫu hoàn toàn tự động và điều hướng chính xác đến vùng quan tâm (ROI).
Phân tích nguyên tố nhanh
Metrios 6 (S)TEM với đầu dò Ultra-X EDS mang đến một cấp độ phát hiện EDS mới cho các giải pháp thông lượng cao. Đầu dò Ultra-X EDS tiên tiến cung cấp góc khối 4,45 srad, mang lại hiệu quả thu thập dữ liệu cao hơn ít nhất 2 lần so với thế hệ đầu dò trước. Điều này cho phép thu thập dữ liệu trong thời gian ngắn hơn trong khi vẫn bảo toàn tính toàn vẹn của các mẫu nhạy với chùm tia. Ngoài các khả năng này, Ultra-X mở ra các cơ hội phân tích EDS mới với quang phổ EDS sạch nhất (<1% đỉnh không mong muốn).
Tự động hóa không cần công thức cho phép đo (S)TEM
Tự động hóa hoàn toàn sử dụng các thuật toán học máy để giảm đáng kể thời gian thiết lập tự động hóa cho mỗi quy trình hoặc loại mẫu mới để cung cấp tính dễ sử dụng và khả năng mở rộng. Tự động hóa thông minh dành riêng cho ứng dụng hỗ trợ nhiều loại thiết bị bán dẫn, chẳng hạn như cổng toàn bộ (GAA), DRAM và NAND 3D. Bộ phân đoạn dựa trên web mới và thuật toán phát hiện đối tượng cung cấp khả năng đào tạo mô hình nhanh hơn 50 lần trên các cấu trúc thiết bị. Ngoài ra, tự động hóa thông minh có thể mở rộng để đáp ứng các yêu cầu về sản xuất và R&D bán dẫn tiên tiến trong tương lai.
Đường dốc năng suất và đo lường
Việc cải thiện năng suất bán dẫn và tăng tốc độ sản xuất có thể là một thách thức. Độ phức tạp 3D ngày càng tăng của các thiết bị bán dẫn đang tạo ra nhu cầu chưa từng có đối với dữ liệu đo lường TEM chất lượng cao. Metrios 6 (S)TEM có phần cứng hiện đại và phần mềm tự động hóa dựa trên máy học để đo lường tham chiếu và giám sát quy trình. Giải pháp này được thiết kế để giúp các phòng thí nghiệm bán dẫn tăng thông lượng mẫu và thu thập dữ liệu khối lượng lớn để tăng năng suất và đẩy nhanh thời gian thu hoạch.
Đặc điểm vật lý và hóa học
Phát triển các thiết bị bán dẫn hiện đại đòi hỏi phải có đặc tính vật lý, cấu trúc và nguyên tố trên các khuyết tật ở quy mô nguyên tử với sự cân nhắc đặc biệt đối với các vật liệu nhạy cảm với chùm tia điện tử. Metrios 6 (S)TEM hỗ trợ quy trình làm việc hình ảnh và đặc tính linh hoạt để phân tích nguyên nhân gốc rễ chính xác và phát triển quy trình nhanh hơn.
Làm việc trên các vật liệu nhạy cảm với chùm tia phụ thuộc vào hiệu quả thu thập dữ liệu được nâng cao và tiếp xúc với chùm tia điện tử tối thiểu để bảo toàn tính toàn vẹn của dữ liệu. Kính hiển vi điện tử truyền qua Metrios 6 (S)TEM có hệ thống phát hiện Ultra-X EDS và chuyển mạch điện áp cao nhanh để nhanh chóng đặc tính vật lý và nguyên tố của các thiết bị bán dẫn.
Đo lường và phân tích thiết bị bộ nhớ
Sản xuất các thiết bị bộ nhớ tiên tiến, chẳng hạn như 3D NAND và DRAM, đòi hỏi phép đo TEM có độ chính xác, khối lượng lớn trên các kích thước nhỏ, quan trọng ẩn trong các cấu trúc tỷ lệ khung hình cao. Với quy trình làm việc hoàn toàn tự động, Metrios 6 (S)TEM cung cấp phép đo tham chiếu năng suất cao, chất lượng cao và phân tích lỗi cho các cấu trúc thiết bị bộ nhớ tiên tiến.
