Mô tả ngắn

Hãng sản xuất: Thermo Fisher Scientific

Kính hiển vi điện tử quét Verios 5 XHR SEM cung cấp độ phân giải dưới nanomet trên toàn bộ dải năng lượng từ 1 keV đến 30 keV với độ tương phản tuyệt vời. Mức độ tự động hóa và dễ sử dụng chưa từng có giúp người dùng ở mọi cấp độ kinh nghiệm đều có thể sử dụng.

HỖ TRỢ NHANH

THÔNG TIN SẢN PHẨM

Mô tả

Kính hiển vi điện tử quét Verios 5 XHR SEM

Kính hiển vi điện tử quét Verios 5 XHR SEM của hãng ThermoFisher Scientific cung cấp độ phân giải dưới nanomet trên toàn bộ dải năng lượng từ 1-30 keV với độ tương phản tuyệt vời. Mức độ tự động hóa và dễ sử dụng chưa từng có giúp mọi người đều có thể sử dụng.

Đối với các nhà khoa học vật liệu, Verios 5 XHR SEM mở rộng đặc tính dưới nanomet sang các vật liệu mới đang được phát triển hiện nay (ví dụ: các hạt xúc tác, ống nano, độ xốp, mặt cắt ngang, vật thể sinh học và các cấu trúc nano khác). Có thể thu được hình ảnh có độ phân giải cao, độ tương phản cao mà không cần chuyển sang TEM hoặc các kỹ thuật hình ảnh khác.

Verios 5 XHR SEM linh hoạt trong các ứng dụng nghiên cứu để chứa các mẫu vật lớn như các tấm wafer hoặc mẫu luyện kim, thực hiện phân tích nhanh nhờ chế độ dòng điện cao hoặc làm việc trên các ứng dụng tạo mẫu chính xác như lắng đọng trực tiếp bằng chùm tia điện tử của vật liệu hoặc quang khắc.

Trong thị trường bán dẫn và lưu trữ dữ liệu, hiệu suất chưa từng có của Verios 5
XHR SEM mở rộng đáng kể khả năng SEM, cung cấp giải pháp hoàn chỉnh cho nghiên cứu cơ bản, phát triển quy trình và vật liệu, kiểm soát quy trình và phân tích lỗi. Nó cung cấp kết quả đo lường chính xác, có thể lặp lại ngay cả trên các vật liệu cực kỳ nhạy cảm.

Verios 5 XHR SEM có hiệu suất hàng đầu trong ngành mà không ảnh hưởng đến thông lượng cao, tính linh hoạt của mẫu và tính dễ dàng của SEM truyền thống.

 

 

 

Kính hiển vi điện tử quét Verios 5XHR SEM
Kính hiển vi điện tử quét Verios 5XHR SEM

Hãy liên hệ với chúng tôi để được tư vấn về sản phẩm!

Các tính năng của Verios 5 XHR SEM

Công nghệ SmartAlign

Công nghệ SmartAlign loại bỏ nhu cầu căn chỉnh cột electron của người dùng, không chỉ giảm thiểu việc bảo trì mà còn tăng năng suất của bạn.

Quang học điện tử đổi mới

Bao gồm súng UC+ (đơn sắc) được cấp bằng sáng chế của Thermo Scientific, ống kính ConstantPower và chức năng quét tĩnh điện để tạo ra hình ảnh chính xác và ổn định.

Độ phân giải dưới nanomet

Công nghệ FESEM đơn sắc Elstar Schottky (UC+) và hiệu suất với độ phân giải dưới nanomet từ 1 đến 30 keV.

Kết quả đo lường nhất quán

Verios lý tưởng cho các ứng dụng đo lường trong phòng thí nghiệm, với khả năng hiệu chuẩn theo tiêu chuẩn được NIST chứng nhận ở độ phóng đại cao.

Dễ dàng tiếp cận năng lượng của chùm tia

Năng lượng thấp chỉ đến 20 eV với độ phân giải rất cao để mô tả đặc điểm bề mặt thực sự.

Vận hành SEM tự động

Với phần mềm AutoScript 4, một giao diện lập trình ứng dụng (API) tùy chọn dựa trên Python giúp vận hành SEM mà không cần giám sát

Kích thước buồng lớn

Với sự lựa chọn giữa hai giai đoạn điều khiển bằng áp điện chính xác và ổn định.

Độ phân giải chùm tia điện tử
  • 0,6 nm ở 30 kV STEM (tùy chọn)
  • 0,6 nm ở 2 – 15 kV
  • 0,7 nm ở 1 kV
  • 1,0 nm ở 500 V
Máy dò tiêu chuẩn ETD, TLD, MD, ICD, đo dòng chùm tia, Nav-Cam+, camera IR
Máy dò tùy chọn Các máy dò tùy chọn | EDS, EBSD, RGB ca-tốt phát quang, Raman, WDS và nhiều hơn nữa
Độ lệch giai đoạn (giảm tốc chùm tia, tùy chọn) Lên đến -4000 V, bao gồm theo tiêu chuẩn
Làm sạch mẫu Máy làm sạch plasma tích hợp, bao gồm theo tiêu chuẩn
Thao tác mẫu Phiên bản 5 UC

  • Bàn di chuyển eucentric 5 trục có động cơ, với các trục XYR được truyền động bằng áp điện.
  • Phạm vi XY 150 x 150 mm 2 , phạm vi nghiêng 70°.
  • Đưa mẫu qua cửa.
 

Phiên bản 5 HP

  • Buồng gắn, hệ thống động cơ áp điện 5 trục ổn định cao.
  • Phạm vi XY 100 x 100 mm 2 , phạm vi nghiêng 70°.
  • Đưa mẫu qua khóa tải tự động.

 

Buồng Chiều rộng bên trong 379 mm, 21 cổng
Tùy chọn phần mềm