Kính hiển vi điện tử quét xác định lỗi Meridian EX Semiconductor
Mô tả ngắn
Hãng sản xuất: Thermo Fisher Scientific
Hệ thống Thermo Scientific Meridian EX là giải pháp dựa trên chùm tia điện tử cải tiến để thăm dò lỗi chính xác trong các thiết bị bán dẫn tiên tiến. Công nghệ chùm tia điện tử đột phá cung cấp độ phân giải tăng gấp 10 lần so với các phương pháp quang học, điều này đảm bảo phân tích lỗi nhanh chóng, chính xác và đáng tin cậy của các thiết bị bán dẫn tiên tiến nhất.
HỖ TRỢ NHANH
THÔNG TIN SẢN PHẨM
- Mô tả
Mô tả
Kính hiển vi điện tử quét xác định lỗi Meridian EX Semiconductor
Kính hiển vi điện tử quét Thermo Scientific Meridian EX là giải pháp dựa trên chùm tia điện tử cải tiến để thăm dò lỗi chính xác trong các thiết bị bán dẫn tiên tiến.
Sử dụng công nghệ chùm tia điện tử đột phá, hệ thống này cho phép thăm dò qua các mạng lưới dây phức tạp từ mặt trước hoặc mặt sau của thiết bị.
Cung cấp độ phân giải tăng gấp 10 lần so với các phương pháp quang học, điều này đảm bảo phân tích lỗi nhanh chóng, chính xác và đáng tin cậy của các thiết bị bán dẫn tiên tiến nhất.
Một số tính năng của Meridian EX
Xác định vị trí khuyết tật
Thiết kế phân phối nguồn phía sau mới đã tạo ra một điểm thay đổi quan trọng cho sản xuất và thiết kế chất bán dẫn. Định vị lỗi quang học truyền thống không còn khả thi nữa do tia laser không thể xuyên qua các liên kết kim loại và thăm dò với độ chính xác tốt.
Kính hiển vi điện tử xác định lỗi Meridian EX sử dụng công nghệ tương phản điện áp (e-beam) cho phép đo đạc liên kết kim loại. Việc định vị lỗi ở các nút tiên tiến đòi hỏi đầu dò mịn hơn so với laser, hệ thống Meridian EX cung cấp độ phân giải <20 nm, so với 150 nm có thể đạt được với công nghệ dựa trên laser.
Điều khiển chùm tia tốc độ cao
Vì các nút tiên tiến đòi hỏi dung sai sản xuất chặt chẽ hơn, nên việc đảm bảo hiệu suất điện nhất quán ngày càng trở nên khó khăn. Do các vấn đề về thiết kế hoặc biến thể quy trình, các thiết bị có thể không đáp ứng được mức hiệu suất mong đợi hoặc chúng có thể gặp phải các lỗi “mềm” chỉ xuất hiện khi được thử nghiệm “ở tốc độ cao”.
Hệ thống Meridian EX, được trang bị bộ chùm tia điện tử 2 GHz tốc độ cao và thiết bị điện tử xung tiên tiến, phát hiện cả các lỗi cứng và lỗi mềm, tạo điều kiện phân tích lỗi chính xác trên các thiết bị logic tiên tiến nhất.
Quy trình xác định vị trí lỗi
Hệ thống Meridian EX độc đáo đáp ứng nhu cầu phân tích lỗi logic tiên tiến cho nhiều thế hệ. Giao diện phần mềm tiêu chuẩn công nghiệp đảm bảo hoạt động thân thiện với người dùng và tích hợp liền mạch với quy trình làm việc trong phòng thí nghiệm hiện có, chẳng hạn như FIB-SEM của Thermo Scientific hoặc các giải pháp DualBeam để chuẩn bị trước khi thăm dò và trì hoãn sau khi thăm dò.
Điểm nổi bật về kỹ thuật của kính hiển vi điện tử quét Meridian EX
- Cột SEM Elstar của Thermo Scientific có độ phân giải cực cao, phát xạ trường với:
- Tích hợp ộ phận làm mờ chùm tia nhanh
- Vật kính từ tính nhúng
- Chụp ảnh và thăm dò điện áp electron (EVx) bao gồm một phạm vi hoạt động rộng của tần số để trực quan hóa hoạt động của bóng bán dẫn bao gồm cả hình ảnh pha
- Di chuyển của bàn XY: +/-77 mm
- Tải trọng của bàn: 1,5 kg
- Kích thước băng tải: 9 x 9” (Kích thước thực tế có thể thay đổi tùy thuộc vào sơ đồ lắp và đầu nối).
Hãy liên hệ bới chúng tôi để được tư vấn về sản phẩm!
