Kính hiển vi điện tử quét Helios 5 EXL DualBeam
Mô tả ngắn
Hãng sản xuất: Thermo Fisher Scientific
Thermo Scientific Helios 5 EXL DualBeam là kính hiển vi điện tử quét chùm ion hội tụ (FIB-SEM) wafer 300mm, được thiết kế để giải quyết các thách thức trong việc chuẩn bị mẫu TEM trong ngành công nghiệp bán dẫn. Helios 5 EXL DualBeam có khả năng chuẩn bị mẫu cho các nút quy trình tiên tiến nhất hiện nay, bao gồm công nghệ dưới 5nm và công nghệ gate-all-around.
HỖ TRỢ NHANH
THÔNG TIN SẢN PHẨM
- Mô tả
- Tính năng
- Thông số kĩ thuật
Mô tả
Kính hiển vi điện tử quét Helios 5 EXL DualBeam
Nhu cầu về thiết bị điện tử hiệu suất cao, tiết kiệm năng lượng đang thúc đẩy sự phát triển của các thiết bị tiên tiến nhỏ gọn, dày đặc hơn và cấu trúc 3D phức tạp. Việc tăng cường sản xuất các bộ vi xử lý, thiết bị bộ nhớ và các sản phẩm tiên tiến khác này là vô cùng khó khăn và đòi hỏi phải phân tích các tính năng ở quy mô nguyên tử, có độ phân giải cao nằm sâu bên trong thiết bị. Kính hiển vi điện tử truyền qua (TEM) ngày càng trở thành kỹ thuật được sử dụng cho loại phân tích này và dựa vào các mẫu chất lượng cao được tạo ra bằng phương pháp nghiền chùm ion hội tụ (FIB).
Thermo Scientific Helios 5 EXL DualBeam là kính hiển vi điện tử quét chùm ion hội tụ (FIB-SEM) cho các tấm wafer đường kính 300mm, được thiết kế để giải quyết các thách thức trong việc chuẩn bị mẫu TEM trong ngành công nghiệp bán dẫn.
Helios 5 EXL DualBeam có khả năng chuẩn bị mẫu cho các nút quy trình tiên tiến nhất hiện nay, bao gồm công nghệ dưới 5nm và công nghệ gate-all-around.
Tối đa hóa thông lượng mẫu và năng suất
Sử dụng công nghệ học máy tiên tiến và xác định điểm kết thúc ở vòng lặp kín, Helios 5 EXL DualBeam mang lại độ chính xác khi cắt và cho phép bạn liên tục trích xuất phiến mỏng chất lượng cao từ các mẫu khó nhất.
Khả năng tự động hóa linh hoạt giúp tạo mẫu TEM siêu mỏng và nhất quán, cung cấp cái nhìn sâu với kích thước quan sát dưới nanomet về các giao diện, màng và cấu hình hơn để đo ở độ phân giải dưới nanomet.
Helios 5 EXL DualBeam đảm bảo quy trình chuẩn bị mẫu TEM hiệu quả và nhất quán bằng cách kết hợp điều hướng wafer và khuyết tật, thực hiện công thức trong một chương trình được tích hợp hoàn toàn. Tự động hóa này giúp tối đa hóa thông lượng mẫu và năng suất tài nguyên kỹ thuật.
Hãy liên hệ với chúng tôi để được tư vấn về sản phẩm!
Phần mềm chuẩn bị mẫu TEM tự động
Phần mềm AutoTEM 5 của Thermo Scientific kết hợp việc định hướng wafer và khuyết tật với việc định nghĩa và thực hiện công thức trong một chương trình được tích hợp đầy đủ, đảm bảo hiệu quả và tính nhất quán giữa những người vận hành có trình độ chuyên môn khác nhau. Phần mềm AutoTEM đơn giản hóa việc chuẩn bị mẫu TEM, cho phép người dùng dễ dàng lên lịch các công việc đa địa điểm cho quy trình chuẩn bị mẫu TEM đảo ngược, chế độ xem mặt bằng và từ trên xuống.
Lặp lại, lắng đọng tự động và khắc
Được phát triển đặc biệt để hỗ trợ chuẩn bị TEM tự động, Hệ thống cung cấp khí MultiChem của Thermo Scientific cung cấp khả năng lắng đọng và khắc cực kỳ nhất quán và có thể được sử dụng với các ứng dụng tự động. Kim tiêm có động cơ với các cài đặt vị trí đã lưu có thể được định vị chính xác để cung cấp khí tối ưu, có thể tái tạo đến bề mặt mẫu. Hệ thống cung cấp khí MultiChem cũng được thiết kế để dễ bảo dưỡng, tối đa hóa thời gian hoạt động của công cụ.
Khoan FIB chính xác để chuẩn bị mẫu tiên tiến
Helios 5 EXL DualBeam bao gồm Cột ion Thermo Scientific Phoenix, cung cấp hiệu suất kV thấp đột phá và khả năng chuẩn bị mẫu TEM tiên tiến.
Căn chỉnh tự động, độ phân giải cao và kết quả nhất quán
Cột Electron Elstar Electron Column hiệu suất cao của Thermo Scientific có công nghệ đơn sắc UC độc đáo cung cấp độ phân giải được cải thiện và điểm cuối mẫu TEM. Các chức năng tự động căn chỉnh SEM mới đảm bảo kết quả nhất quán trên nhiều công cụ và người vận hành.
Thao tác mẫu tự động
Với phương pháp trực quan để nhấc ra và chuyển mẫu TEM vào lưới, Thermo Scientific EasyLift Nanomanipulator cung cấp các chuyển động có độ trôi thấp, độ chính xác cao để tạo ra phiến TEM truyền thống hoặc siêu mỏng một cách đơn giản và nhất quán. Độ chính xác cao, dễ sử dụng và quay nhanh bằng động cơ khiến EasyLift Nanomanipulator lý tưởng cho việc chuẩn bị mẫu đảo ngược hoặc chế độ xem mặt phẳng tốc độ cao.
Tùy chọn Automated FOUP Loader (AFL) tương thích với Fab
Bộ nạp FOUP tự động (AFL) tùy chọn cho phép Helios 5 EXL DualBeam được đặt bên trong nhà máy sản xuất wafer bán dẫn. Nhờ gần hơn với dây chuyền sản xuất wafer (gần dây chuyền), nó có thể cung cấp thông tin quan trọng nhanh hơn gấp ba lần so với phân tích dựa trên phòng thí nghiệm về các miếng wafer đã cắt, đẩy nhanh quá trình phát triển các quy trình mới và tăng năng suất lên sản xuất khối lượng lớn.
| Cột ion Thermo Scientific Phoenix |
|
| Cột Electron Elstar của Thermo Scientific |
|
| Giao khí |
|
| Máy dò |
|
| Xử lý mẫu |
|
| Tùy chọn bổ sung |
|
