Kính hiển vi điện tử quét Helios 5 DualBeam SEM
Mô tả ngắn
Hãng sản xuất: Thermo Fisher Scientific
Kính hiển vi điện tử quét Thermo Scientific Helios 5 DualBeam được xây dựng dựa trên khả năng phân tích và hình ảnh hiệu suất cao của dòng Helios DualBeam hàng đầu trong ngành. Nó được thiết kế để đáp ứng nhu cầu của các nhà nghiên cứu và kỹ sư khoa học vật liệu cho nhiều trường hợp sử dụng kính hiển vi điện tử quét chùm ion tập trung (FIB-SEM) – ngay cả trên các mẫu khó nhất.
HỖ TRỢ NHANH
THÔNG TIN SẢN PHẨM
- Mô tả
- Tính năng
- Thông số kĩ thuật
Mô tả
Kính hiển vi điện tử quét Helios 5 DualBeam SEM
Kính hiển vi điện tử quét Thermo Scientific Helios 5 DualBeam được xây dựng dựa trên khả năng phân tích và hình ảnh hiệu suất cao của dòng Helios DualBeam hàng đầu trong ngành. Nó được thiết kế để đáp ứng nhu cầu của các nhà nghiên cứu và kỹ sư khoa học vật liệu cho nhiều trường hợp sử dụng kính hiển vi điện tử quét chùm ion tập trung (FIB-SEM) – ngay cả trên các mẫu khó nhất.
Helios 5 DualBeam định nghĩa lại tiêu chuẩn trong hình ảnh độ phân giải cao với độ tương phản vật liệu cao; chuẩn bị mẫu chất lượng cao nhanh chóng, dễ dàng và chính xác cho hình ảnh (S)TEM, chụp cắt lớp đầu dò nguyên tử (APT) cũng như đặc tính 3D và dưới bề mặt chất lượng cao.
Dựa trên các khả năng đã được chứng minh của dòng Helios DualBeam, những cải tiến bổ sung cho Helios 5 DualBeam mới được thiết kế để đảm bảo hệ thống được tối ưu hóa cho nhiều quy trình làm việc thủ công hoặc tự động. Những cải tiến đó bao gồm:
- Dễ sử dụng hơn : Helios 5 DualBeam là DualBeam dễ tiếp cận nhất đối với người dùng ở mọi cấp độ kinh nghiệm. Đào tạo người vận hành có thể được rút ngắn từ nhiều tháng xuống còn vài ngày và thiết kế hệ thống giúp tất cả người vận hành đạt được kết quả nhất quán, có thể lặp lại trên nhiều ứng dụng tiên tiến.
- Tăng năng suất : Khả năng tự động hóa tiên tiến, tăng cường độ bền và tính ổn định trong Helios 5 DualBeam và phần mềm Thermo Scientific AutoTEM 5 có thể tăng đáng kể năng suất chuẩn bị mẫu bằng cách cho phép vận hành không cần giám sát, thậm chí là qua đêm.
- Cải thiện thời gian để có kết quả : Helios 5 DualBeam hiện bao gồm FLASH, một khái niệm mới về việc điều chỉnh hình ảnh. Với kính hiển vi thông thường, mỗi lần người vận hành cần thu được hình ảnh, kính hiển vi phải được điều chỉnh cẩn thận bằng cách căn chỉnh lặp lại. Với Helios 5 DualBeam, một cử chỉ đơn giản trên màn hình sẽ kích hoạt FLASH, tự động điều chỉnh các thông số này. Các điều chỉnh tự động có thể cải thiện đáng kể thông lượng, chất lượng dữ liệu và đơn giản hóa việc thu được hình ảnh chất lượng cao.
Chuẩn bị mẫu chất lượng cao
Chuẩn bị mẫu tại chỗ để phân tích (S)TEM và APT bằng cột ion Tomahawk thông lượng cao của Thermo Scientific hoặc cột ion Phoenix của Thermo Scientific với hiệu suất điện áp thấp vô song.
Hoàn toàn tự động
Chuẩn bị và cắt ngang mẫu TEM tại chỗ và ngoài chỗ nhanh chóng, dễ dàng, hoàn toàn tự động, không cần giám sát, đa điểm bằng phần mềm AutoTEM 5 tùy chọn .
Thời gian ngắn nhất để đạt được thông tin ở cấp độ nano
Dành cho người dùng có bất kỳ trình độ kinh nghiệm nào khi sử dụng Cột điện tử Thermo Scientific Elstar tốt nhất với công nghệ Thermo Scientific SmartAlign và FLASH.
Công nghệ đơn sắc UC+ thế hệ tiếp theo
Hiển thị những chi tiết tốt nhất với công nghệ đơn sắc UC+ thế hệ tiếp theo có dòng điện cao hơn, cho phép hiệu suất dưới nanomet ở mức năng lượng thấp.
Thông tin mẫu đầy đủ
Độ tương phản sắc nét, tinh tế và không tốn phí thu được từ tối đa sáu bộ dò tích hợp trong cột và dưới ống kính.
Phân tích 3D
Thông tin 3D và bề mặt đa phương thức chất lượng cao với mục tiêu nhắm mục tiêu chính xác đến khu vực quan tâm bằng cách sử dụng Phần mềm Thermo Scientific Auto Slice & View 4 (AS&V4) tùy chọn .
Nguyên mẫu nano nhanh
Phay và lắng đọng nhanh chóng, chính xác và tỉ mỉ các cấu trúc phức tạp có kích thước quan trọng nhỏ hơn 10 nm.
Điều hướng mẫu chính xác
Được thiết kế riêng theo nhu cầu ứng dụng riêng nhờ độ ổn định và độ chính xác cao của bệ áp điện 150 mm hoặc tính linh hoạt của bệ 110 mm, cũng như Camera Nav-Cam Thermo Scientific trong buồng.
Hình ảnh không có hiện tượng giả tạo
Dựa trên quản lý độ sạch mẫu tích hợp và các chế độ hình ảnh chuyên dụng như Chế độ DCFI và SmartScan.
Hình ảnh STEM
Cấu hình Thermo Scientific Helios 5 FX cung cấp quy trình làm việc năng suất cao với khả năng STEM độc đáo, tại chỗ , độ phân giải 3Å.
Thông số kỹ thuật Helios 5 DualBeam dành cho ngành công nghiệp bán dẫn
| Helios 5 CX | Helios 5 HP | Helios 5 Trải nghiệm người dùng | Helios 5 HX | Helios 5 FX | ||
| Chuẩn bị kỹ lưỡng và hình ảnh SEM XHR | Chuẩn bị mẫu cuối cùng (TEM lamellae, APT) | Chụp ảnh STEM quy mô Angstrom và chuẩn bị mẫu | ||||
| SEM | Độ phân giải | 20 eV – 30 keV | 20 eV – 30 keV | |||
| Năng lượng tới | 0,6nm @ 15 keV 1,0 nm @ 1 keV | 0,6 nm @ 2 keV 0,7 nm @ 1 keV 1,0 nm @ 500 eV | ||||
| STEM | Độ phân giải @ 30 keV | 0,7 nm | 0,6 nm | 0,3nm | ||
| Quy trình chuẩn bị FIB | Loại bỏ vật liệu tối đa | 100 giờ | 100 giờ | 65 giờ | ||
| Đánh bóng cuối cùng tối ưu | 2kV | 500V | ||||
| Chuẩn bị mẫu TEM | Độ dày mẫu | 50nm | 15nm | 7nm | ||
| Tự động hóa | Không | Có | Có | |||
| Xử lý mẫu | Di chuyển | 110 x 110 x 65mm | 100x100x65mm | 150 x 150 x 10mm | 100 x 100 x 20mm | 100 x 100 x 20 mm + 5 trục (S)TEM Compustage |
| Tải trọng khóa | Hướng dẫn sử dụng Quickloader | Tự động | Hướng dẫn sử dụng Quickloader | Tự động | Tự động + Tự động chèn/rút thanh STEM | |
Thông số kỹ thuật Helios 5 DualBeam dành cho khoa học vật liệu
| Helios 5 CX | Helios 5 UC | Helios 5 Trải nghiệm người dùng | ||
| Quang học ion | Cột ion Tomahawk HT có hiệu suất dòng điện cao vượt trội | Cột ion Phoenix có hiệu suất dòng điện cao và điện áp thấp vượt trội | ||
| Phạm vi dòng điện chùm ion | 1 pA – 100 nA | 1 pA – 65 nA | ||
| Phạm vi điện áp tăng tốc | 500V – 30kV | 500V – 30kV | ||
| Chiều rộng trường ngang tối đa | 0,9 mm tại điểm trùng hợp chùm tia | 0,7 mm tại điểm trùng hợp chùm tia | ||
| Tuổi thọ nguồn tối thiểu | 1.000 giờ | 1.000 giờ | ||
| Bơm vi sai hai giai đoạn Hiệu chỉnh thời gian bay (TOF) dải khẩu độ 15 vị trí | Bơm vi sai hai giai đoạn Hiệu chỉnh thời gian bay (TOF) dải khẩu độ 15 vị trí | |||
| Quang học điện tử | Cột SEM phát xạ trường có độ phân giải cực cao Elstar | Cột SEM phát xạ trường độ phân giải cực cao Elstar | ||
| Vật kính nhúng từ tính | Vật kính nhúng từ tính | |||
| Súng phát xạ trường Schottky có độ ổn định cao cung cấp dòng điện phân tích có độ phân giải cao ổn định | Súng phát xạ trường Schottky có độ ổn định cao để cung cấp dòng điện phân tích có độ phân giải cao ổn định | |||
| Độ phân giải chùm tia điện tử | Ở khoảng cách làm việc tối ưu (WD) | 0,6 nm ở 30 kV STEM 0,6 nm ở 15 kV 1,0 nm ở 1 kV 0,9 nm ở 1 kV với giảm tốc chùm tia* | 0,6 nm ở 30 kV STEM 0,7 nm ở 1 kV 1,0 nm ở 500 V (ICD) | |
| Tại điểm trùng nhau | 0,6 nm ở 15 kV 1,5 nm ở 1 kV với giảm tốc chùm tia* và DBS* | 0,6 nm ở 15 kV 1,2 nm ở 1 kV | ||
| Tham số chùm electron | Phạm vi dòng điện chùm electron | 0,8 pA đến 176 nA | 0,8 pA đến 100 nA | |
| Phạm vi điện áp tăng tốc | 200V – 30kV | 350V – 30kV | ||
| Phạm vi năng lượng tới | 20 eV – 30 keV | 20 eV – 30 keV | ||
| Chiều rộng trường ngang tối đa | 2,3 mm ở 4 mm WD | 2,3 mm ở 4 mm WD | ||
| Máy dò | Máy dò SE/BSE trong ống kính Elstar (TLD-SE, TLD-BSE) | |||
| Máy dò SE/BSE trong cột Elstar (ICD)* | ||||
| Máy dò BSE trong cột Elstar (MD)* | ||||
| Máy dò Everhart-Thornley SE (ETD) | ||||
| Camera IR để xem mẫu/cột | ||||
| Máy dò ion và điện tử trong buồng hiệu suất cao (ICE) dành cho các ion thứ cấp (SI) và electron (SE)* | ||||
| Camera Nav-Cam trong buồng Thermo Scientific để điều hướng mẫu* | ||||
| Máy dò điện tử tán xạ ngược trạng thái rắn (DBS) có thể thu vào, điện áp thấp, độ tương phản cao, định hướng* | ||||
| Máy dò STEM 3+ có thể thu vào với các phân đoạn BF/ DF/ HAADF* | ||||
| Đo dòng chùm tích hợp | ||||
| Sân khấu và mẫu | Bàn | Bàn di chuyển động cơ 5 trục linh hoạt | Bàn di chuyển động cơ năm trục có độ chính xác cao với trục XYR được điều khiển bằng Piezo | |
| Phạm vi XY | 110mm | 150mm | ||
| Phạm vi Z | 65mm | 10mm | ||
| Vòng xoay | 360° (vô tận) | 360° (vô tận) | ||
| Phạm vi nghiêng | -15° đến +90° | -10° đến +60° | ||
| Chiều cao mẫu tối đa | Khoảng cách 85 mm đến điểm tâm | Khoảng cách 55 mm đến điểm tâm | ||
| Trọng lượng mẫu tối đa | 500g ở bất kỳ vị trí nào Lên đến 5 kg ở góc nghiêng 0° (áp dụng một số hạn chế) | 500 g (bao gồm cả giá đựng mẫu) | ||
| Kích thước mẫu tối đa | 110 mm với vòng quay đầy đủ (có thể lấy mẫu lớn hơn với vòng quay hạn chế) | 150 mm với vòng quay đầy đủ (có thể lấy mẫu lớn hơn với vòng quay hạn chế) | ||
| Quay và nghiêng máy tính | Quay và nghiêng máy tính | |||
