Sản phẩm - Kính hiển vi điện tử quét chùm ion hội tụ Helios 6 HD

Mô tả

Kính hiển vi điện tử quét chùm ion hội tụ Helios 6 HD

Kính hiển vi điện tử quét chùm ion hội tụ Helios 6 HD của hãng ThermoFisher Scientific được thiết kế để đáp ứng nhu cầu của ngành bán dẫn về khối lượng lớn dữ liệu TEM chất lượng cao để phân tích lỗi và đo lường. Thiết bị này được bổ sung vào dòng thiết bị DualBeam tiêu chuẩn công nghiệp của Thermo Scientific mang lại chất lượng mẫu và năng suất cao hơn, từ đó cung cấp dữ liệu TEM tốt hơn. Việc tạo ra dữ liệu TEM chất lượng cao hơn tối đa hóa năng suất sản xuất và chất lượng sản phẩm cuối cùng.

Helios 6 HD FIB-SEM tối đa hóa việc sử dụng hệ thống và giảm chi phí vận hành với cột FIB Osprey mới. Cột FIB Osprey với nguồn tự động nâng cao và căn chỉnh cột giúp giảm nhu cầu can thiệp của người vận hành và kỹ thuật viên dịch vụ.

Ngoài ra, Thermo Scientific EasyLift NanoManipulator mới kéo dài tuổi thọ kim và giảm thời gian thay kim để giảm thiểu gián đoạn sản xuất.

Helios 6 HD FIB-SEM có Phần mềm Thermo Scientific AutoTEM 6, thực hiện căn chỉnh tự động và tăng cường quản lý lưới để thiết lập nhanh hơn. Một công cụ quét kỹ thuật số hoàn toàn mới cho phép chụp ảnh SEM và phay đồng thời, đồng thời cung cấp khả năng xoay quét chính xác và định vị mẫu chính xác. Những cải tiến về phần cứng và phần mềm này tối đa hóa thông lượng mẫu tại từng địa điểm cụ thể.

 

Một số tính năng của Helios 6 HD FIB-SEM

• Cột FIB mới với chức năng căn chỉnh cột và nguồn tự động mang lại khả năng ổn định cao hơn và dòng điện chùm tia thấp.
• Công nghệ quét và tạo mẫu kỹ thuật số mới cho phép chụp ảnh SEM và phay FIB đồng thời, giúp định vị điểm cuối chính xác hơn và năng suất cao hơn.
• Phần mềm AutoTEM 6 được thiết kế để tận dụng tối đa phần cứng Helios 6 HD FIB-SEM mới. Phần mềm hỗ trợ AI này tự động căn chỉnh tất cả các vị trí lưới, cung cấp khả năng quản lý lưới nâng cao và giảm thời gian thiết lập.
• Thời gian giữa các lần thay kim EasyLift NanoManipulator dài hơn và quá trình thay thế được tối ưu hóa, dẫn đến tăng cường khả năng sử dụng hệ thống và kết quả đồng nhất hơn.

Nguồn điện tử	Phát xạ nhiệt Schottky, tuổi thọ > 1 năm
Nguồn ion	Kim loại lỏng Gallium, 1000 giờ
Landing voltage	20 V – 30 kV SEM
	500 V – 30 kV FIB
Độ phân giải SEM	Khoảng cách làm việc tối ưu 0.6nm @ 2-15 kV 0.7 nm @ 1 k V 1.0 nm @ 500 V
	Khoảng cách làm việc đồng thời 0.6 nm @ 15 kV 1.2 nm @ 1 kV
Độ phân giải FIB	Khoảng cách làm việc đồng thời : 4.0 nm @ 30 kV sử dụng phương pháp thống kê 2.5 nm @ 30 kV sử dụng phương pháp cạnh chọn lọc 500 nm @ 500 V sử dụng phương pháp thống kê
Nâng mẫu TEM tại chỗ	Thermo Scientific EasyLift™ NanoManipulator
Kích thước mẫu	36 mm x 66 mm
Chùm tia hóa học	Hệ thống thun khí đơn tiêu chuẩn (GIS) Hệ thống phân phối khí Thermo Scientific MultiChem™
Phần mềm	Thermo Scientific Auto Slice & View™ CAD Navigation