Sản phẩm - Hệ thống nProber IV nanoprobing cô lập lỗi điện và quy trình TEM hiệu quả

Mô tả

Hệ thống nProber IV của Thermo Scientific dựa trên kính hiển vi điện tử quét hiệu suất cao để định vị lỗi bóng bán dẫn và lỗi kim loại hóa. Đây là hệ thống nanoprobing tiên tiến nhất của hãng cho đến nay và là hệ thống đầu tiên sử dụng Cột SEM LEEN2 có độ phân giải cao. Hệ thống nProber IV được thiết kế riêng để tăng tốc độ, độ chính xác và đầu ra của quy trình phân tích lỗi (FA) của bạn, trong đó năng suất là rất quan trọng.

Hệ thống nProber IV trực tiếp tăng tỷ lệ thành công của phân tích kính hiển vi điện tử truyền qua (TEM) thông qua định vị lỗi chính xác và đã được chứng minh là có thể lặp lại ngay cả trên các nút quy trình khó khăn nhất. Tính năng tự động hóa và quy trình làm việc có hướng dẫn của Hệ thống nProber IV cải thiện năng suất phòng thí nghiệm và cho phép tổ chức của bạn tập trung vào đầu ra của quy trình nanoprobing và TEM trong khi đầu tư ít hơn vào hoạt động của chính hệ thống, do đó đẩy nhanh thời gian thu hoạch.

Cải thiện tốc độ sản xuất quy trình với Hệ thống nProber IV

Thời gian để tạo ra sản phẩm là một điều quan trọng đối với các nhà máy sản xuất chất bán dẫn. Chìa khóa để tạo ra sản phẩm nhanh hơn là xác định hiệu quả các lỗi quan trọng trong quá trình phát triển quy trình và thiết bị.

Nanoprobing đóng vai trò quan trọng trong việc xác định vị trí các lỗi không thể tìm thấy bằng các kỹ thuật phân tích lỗi khác. Nanoprobing cũng cung cấp khả năng xác định vị trí chính xác cần thiết để đảm bảo rằng các mẫu TEM mỏng sẽ chứa đầy lỗi, cải thiện đáng kể tỷ lệ thành công của quy trình làm việc TEM của bạn. Cuối cùng, vì nanoprobing xác định vị trí các lỗi thông qua đặc tính điện chính xác, nên các quy trình làm việc TEM sử dụng nanoprobing kết hợp phân tích lỗi vật lý TEM với các đặc điểm lỗi điện, giúp xác định mối quan hệ giữa các cải tiến kiểm soát quy trình với hiệu suất thiết bị.

Hãy liên hệ với chúng tôi để được tư vấn về sản phẩm!

Thăm dò bóng bán dẫn hàng đầu

Các bộ điều khiển nano SteadFast và môi trường thăm dò được kiểm soát nhiệt độ kết hợp với nhau mang lại cho đầu dò độ ổn định cần thiết để làm việc với các bóng bán dẫn tiên tiến.

Hình ảnh độ phân giải cao của các mẫu nhạy cảm

Cột LEEN2 mới của Hệ thống nProber IV cho phép chụp ảnh và thăm dò eV thấp và bao gồm hệ thống điều khiển tiên tiến giúp giảm liều mẫu tới 30%. Những tiến bộ này cho phép Hệ thống nProber IV cung cấp các phép đo chính xác các thông số bóng bán dẫn quan trọng với độ dịch chuyển tối thiểu từ hình ảnh SEM.

Vận hành có hướng dẫn và tự động hóa

Hệ thống nProber IV được trang bị quy trình làm việc hướng dẫn bán tự động eFast giúp bạn thực hiện toàn bộ quá trình vận hành hệ thống từ nạp mẫu đến đặc tính điện. Phần mềm eFast tự động hóa quá trình thiết lập Cột LEEN2 và kiểm soát các hệ thống phụ, chính đảm bảo kết quả nhất quán trong môi trường sản xuất có nhiều người dùng.

Cấu trúc 3D

Hệ thống nProber IV có thể được trang bị EBIRCH2 và EBAC để tìm lỗi nghiêm trọng trong cấu trúc kết nối 3D xuống tới ~100 Ω. EBIRCH2 cũng có thể được sử dụng để định vị các lỗi nghiêm trọng trong bóng bán dẫn FinFET.

Ngoài ra, Hệ thống nProber IV có thể được trang bị một tầng phụ cho phép tách các đầu dò ra nhiều milimét, điều này rất cần thiết để phân lập các lỗi trong các cấu trúc NAND 3D lớn.

Lỗi cổng điện trở

Hệ thống nProber IV có thể cô lập lỗi cổng điện trở bằng cách sử dụng phương pháp thăm dò xung tốc độ cao với thời gian tăng dưới 1 ns.

Tự động hóa

Phần mềm easyProbe của chúng tôi tự động hóa các bước chính trong quy trình làm việc của nProber IV bao gồm: vệ sinh đầu dò, hạ đầu dò xuống mẫu và tối ưu hóa tiếp xúc điện giữa đầu dò và mẫu. Phần mềm easyProbe giúp giảm đáng kể thời gian đào tạo cần thiết để sử dụng Hệ thống nProber IV và cho phép kéo dài thời gian vận hành mà không cần giám sát.

Tự động hóa chính xác cao

Thermal Characterization Package tùy chọn hỗ trợ các tiêu chuẩn tự động hóa chính xác cao. Nhiệt độ mẫu có thể được kiểm soát từ -40°C đến 150°C để cô lập các lỗi không thể phát hiện ở nhiệt độ môi trường.