Mô tả ngắn

Hãng sản xuất: Thermo Fisher Scientific

Được thiết kế dành riêng cho việc chỉnh sửa mạch bán dẫn phức tạp, hệ thống chỉnh sửa mạch Centrios và Centrios HX của Thermo Scientific cung cấp độ chính xác, khả năng kiểm soát và hiệu suất hàng đầu trong ngành cho các thiết bị bán dẫn hiện tại và tương lai.

HỖ TRỢ NHANH

THÔNG TIN SẢN PHẨM

Mô tả

Tạo mẫu mạch bán dẫn, gỡ lỗi và sửa chữa mạch bằng hệ thống Centrios và Centrios HX Circuit Edit.

Việc đẩy nhanh quá trình phát triển sản phẩm và thời gian để đưa sản phẩm ra thị trường là rất quan trọng vì việc bỏ lỡ công nghệ hoặc tụt hậu có thể cực kỳ tốn kém. Khi độ phức tạp của thiết kế và tích hợp tăng lên với mỗi nút công nghệ mới, các công cụ chỉnh sửa mạch có tầm quan trọng chiến lược để quản lý chi phí, tránh chậm trễ tiến độ và tối ưu hóa hiệu suất và chức năng của sản phẩm.

Với các công cụ, quy trình làm việc và kỹ thuật phù hợp, việc chỉnh sửa mạch có thể giúp các công ty tạo nguyên mẫu nhanh chóng và hỗ trợ thiết kế của khách hàng theo đúng lịch trình.

Được thiết kế dành riêng cho việc chỉnh sửa mạch bán dẫn phức tạp, Hệ thống chỉnh sửa mạch Centrios và Centrios HX của Thermo Scientific cung cấp độ chính xác, khả năng kiểm soát và hiệu suất hàng đầu trong ngành cho các thiết bị bán dẫn hiện tại và tương lai.

Hệ thống chỉnh sửa mạch Centrios HX

Hệ thống chỉnh sửa mạch Centrios HX được thiết kế để có khả năng chỉnh sửa mặt trước và mặt sau tiên tiến nhất với khả năng kiểm soát chỉnh sửa, độ chính xác và độ ổn định vô song.

Với Cột chùm ion tập trung Celta (FIB) mới của Thermo Scientific, Hệ thống Centrios HX cung cấp độ phân giải cao ở dòng chùm tia thấp và năng lượng tiếp đất thấp, cho phép bạn thực hiện chỉnh sửa chính xác và với thiệt hại mạch tối thiểu. Sử dụng hệ thống cung cấp khí vòi phun kép sáng tạo với danh mục hóa chất rộng nhất và công nghệ FIB mới nhất, Hệ thống Centrios HX cho phép khắc chính xác hàng đầu trong ngành và chỉnh sửa nhanh chóng, hiệu quả.

Hệ thống chỉnh sửa mạch Centrios

Hệ thống chỉnh sửa mạch Centrios sử dụng cột ion Tomahawk WDR của Thermo Scientific đã được chứng minh thực tế, mang lại hiệu suất mạnh mẽ và chi phí sở hữu hợp lý. Hệ thống Centrios cho phép chỉnh sửa mặt trước và mặt sau chính xác, tạo mẫu nhanh, gỡ lỗi và sửa chữa silicon cho các nút quy trình đã thiết lập hiện nay.

Hệ thống chỉnh sửa mạch Centrios
Hệ thống chỉnh sửa mạch Centrios

Hãy liên hệ với chúng tôi để được tư vấn thêm về sản phẩm!

Độ phân giải hình ảnh và phay

Hệ thống Centrios – Độ phân giải cao ở dòng tia thấp để chỉnh sửa hiệu quả, an toàn bằng cách sử dụng Cột FIB Tomahawk WDR của Thermo Scientific đã được chứng minh thực tế.

Hệ thống Centrios HX – Độ phân giải cao hơn 25% ở dòng chùm tia thấp hơn 4 lần để chỉnh sửa hiệu quả, an toàn bằng cách sử dụng Cột FIB Thermo Scientific Celta mới với những cải tiến mới nhất về cấu hình chùm tia.

Độ chính xác và khả năng kiểm soát phay được nâng cao

Độ phẳng/đồng nhất, độ trễ/dừng khắc và tạo độ sắc nét cao các lỗ có tỷ lệ khung hình cao bằng cách sử dụng hệ thống cung cấp khí vòi phun kép đồng thời và danh mục hóa chất khí độc quyền.

Nền tảng chỉnh sửa mạch chuyên dụng

Được thiết kế dành riêng cho việc chỉnh sửa mạch, Hệ thống chỉnh sửa mạch Centrios và Centrios HX tích hợp các thành phần chính, chẳng hạn như cung cấp hóa chất khí, cho phép tối ưu hóa các ứng dụng thủ công và tự động.

Chi phí hoạt động thấp

Phần mềm CAD NEXS của Thermo Scientific để điều hướng và phần mềm iFAST của Thermo Scientific tùy chỉnh tự động hóa để cải thiện hiệu quả và dễ sử dụng.

Hệ thống Centrios Hệ thống Centrios HX
Cột ion
  • Cột ion Tomahawk WDR của Thermo Scientific,
    kim loại lỏng gali, tuổi thọ 1000 giờ
  • Cột FIB Thermo Scientific Celta
Độ phân giải hình ảnh
  • 3,5 nm ở 30 kV
  • 2,5nm ở 30 kV
Dòng điện chùm tia
  • 1,2 pA – 65 nA
  • Dòng điện tối đa 50 nA
Bàn mẫu
  • Động cơ 5 trục eucentric
    • Chuyển động X, Y 100 mm
    • Nghiêng -10° đến 60°
    • Xoay 360°
Phát hiện điểm cuối
  • Dòng điện SE/mẫu đồng thời