Thiết bị đo bề mặt quang học 3D – Nexview™ NX2

Nexview-NX2 - Thiết bị đo bề mặt quang học 3D

Mô tả ngắn

Hãng sản xuất:

Các thiết bị đo bề mặt quang học 3D của Zygo cho phép thực hiện các phép đo và phân tích bề mặt một cách chính xác, định lượng, không tiếp xúc, tuân thủ tiêu chuẩn ISO, đối với các đặc trưng bề mặt ở cấp độ micro và nano. Hệ thống có thể thu nhận tới hai triệu điểm dữ liệu chỉ trong vài giây.

Ứng dụng rất đa dạng, từ đo topography (địa hình bề mặt), độ gợn sóng (waviness), độ nhám (roughness) đến phân tích cấu trúc vi mô (microstructure) trên nhiều loại mẫu vật – từ các bề mặt siêu mịn với độ nhám dưới angstrom, đến các bề mặt thô và khuếch tán cao như các chi tiết được in 3D.

HỖ TRỢ NHANH

Thiết bị: 0983 169 517

Hóa chất: 0912 850 130

THÔNG TIN SẢN PHẨM

Mô tả

Mô tả

Tóm tắt nội dung

Nexview™ NX2 công nghệ đo bề mặt quang học tiên tiến

Nexview™ NX2 là thiết bị đo bề mặt quang học 3D tích hợp độ chính xác vượt trội, thuật toán tiên tiến, tính linh hoạt trong ứng dụng, và khả năng tự động hóa cao – tất cả trong một hệ thống, đại diện cho dòng máy đo Coherence Scanning Interferometry (CSI) tiên tiến nhất của ZYGO.

Với công nghệ hoàn toàn không tiếp xúc, Nexview NX2 tối ưu hóa hiệu quả đầu tư bằng cách cung cấp độ chính xác dưới nanomet ở mọi độ phóng đại, đồng thời đo được đa dạng bề mặt hơn, nhanh hơn và chính xác hơn so với các công nghệ tương đương hiện có trên thị trường.

Tính năng vượt trội của Nexview™ NX2

1. Độ chính xác và phân giải cực cao

Độ phân giải phương đứng (vertical resolution): Lên đến ≤ 0.06 nm, đảm bảo đo được các đặc trưng siêu nhỏ trên bề mặt.
Độ lặp lại nhám RMS: ±0.005 nm.
Đáp ứng tiêu chuẩn đo nhám và hình học: ISO 25178, ISO 4287.

2. Công nghệ quét giao thoa ánh sáng trắng (CSI) tiên tiến

Dựa trên Coherence Scanning Interferometry, cho phép đo bề mặt từ siêu bóng đến rất gồ ghề.
Có thể đo góc nghiêng đến 85°, phù hợp cả với bề mặt phức tạp như rãnh sâu, lỗ nhỏ.

3. Đa chức năng và ứng dụng linh hoạt

Đo độ nhám, độ phẳng, bước cao, độ dốc, chiều dày lớp phủ mỏng, chi tiết MEMS, wafer bán dẫn, linh kiện quang học…
Hoạt động hiệu quả trên cả kim loại, thủy tinh, polymer, bán dẫn, v.v.

4. Hệ thống tự động hóa mạnh mẽ

Auto-focus, auto-alignment, tự nhận biết vật liệu, thay đổi ánh sáng và vật kính tự động.
Hỗ trợ lập trình đo hàng loạt cho sản xuất.
Phần mềm Zygo Mx™ điều khiển toàn diện và phân tích dữ liệu nâng cao.

5. Hình ảnh thật (True Color)

Thiết bị đo bề mặt quang học Nexview™ NX2 hình ảnh màu thực tại vùng đo song song với dữ liệu topography → dễ phân tích và báo cáo.

6. Thiết kế cơ khí chính xác và bền bỉ

Bàn XY motor hóa: 200 × 200 mm (nâng cấp tới 300 × 350 mm).
Trục Z motor: 100 mm (nâng cấp 200 mm).
Nghiêng mẫu (tilt) ±4°.
Hệ thống SureScan™ chống rung chủ động cho phép hoạt động trong môi trường không hoàn hảo.

7. Tính tự động & phần mềm

SmartPSI™: chụp nhanh bề mặt rất bóng trong vài giây .
SureScan™: ổn định kết quả ngay cả trong môi trường có rung
Tự động dò điểm (auto-focus), setup vật liệu, thay ống kính/vật kính, điều chỉnh ánh sáng chỉ với 1 nút
Mx™ Software điều khiển, xử lý dữ liệu, và tự động hóa quy trình dưới Windows 10