Máy đo biên dạng ZYGO Nexview™ 650

Mô tả

ZYGO Nexview™ 650 – Hệ thống máy đo biên dạng bề mặt 3D không tiếp xúc cỡ lớn với hiệu suất metrology chuẩn xác

ZYGO Nexview™ 650 là máy đo biên dạng bề mặt quang học 3D thế hệ mới, thuộc dòng sản phẩm hàng đầu của ZYGO – thương hiệu danh tiếng của Mỹ chuyên cung cấp các hệ thống đo lường chính xác cao. Được thiết kế cho các ứng dụng metrology yêu cầu độ chính xác và linh hoạt cao, Nexview™ 650 mang đến giải pháp đo không tiếp xúc với độ phân giải nanomet, phù hợp cho cả phòng thí nghiệm R&D và dây chuyền sản xuất hiện đại.

Cấu tạo và công nghệ đo

ZYGO Nexview™ 650 sử dụng công nghệ đo giao thoa ánh sáng trắng (White Light Interferometry – WLI), cho phép đo bề mặt với độ phân giải chiều cao cực cao mà không làm ảnh hưởng đến mẫu. Hệ thống được trang bị camera CCD độ phân giải cao cùng với nguồn sáng LED trắng ổn định, giúp đảm bảo thu được dữ liệu chính xác và đáng tin cậy trong mọi điều kiện đo.

Thiết bị có thiết kế bàn đo lớn, cho phép đặt mẫu có kích thước lên đến 650 mm. Ngoài ra, trục Z với hành trình dài và hệ thống lấy nét động tự động giúp Nexview™ 650 có thể đo được các mẫu có hình học phức tạp hoặc bề mặt nghiêng. Máy hỗ trợ nhiều ống kính khách nhau, từ 1,4X đến 115X, đáp ứng đa dạng nhu cầu đo từ thô đến tinh.

Hệ thống điều khiển trục XYZ được tích hợp servo motor độ chính xác cao, đảm bảo di chuyển mượt mà và chính xác. Ngoài ra, ZYGO còn tích hợp cảm biến chống rung và bộ bù nhiệt tự động để tăng độ ổn định cho quá trình đo trong môi trường công nghiệp.

Các đặc điểm nổi bật

Một trong những điểm nổi bật nhất của Nexview™ 650 là khả năng đo lường đa chức năng trong một lần quét duy nhất – bao gồm đo độ nhám (roughness), độ phẳng (flatness), độ cong (bow/warp), độ bậc (step height), và các thông số hình học 3D khác. Điều này giúp tối ưu hóa thời gian và tăng hiệu quả đo lường.

Thiết bị được tích hợp phần mềm Mx™ – nền tảng đo lường độc quyền của ZYGO – có giao diện thân thiện và khả năng phân tích dữ liệu toàn diện. Phần mềm hỗ trợ xuất kết quả dưới dạng bản đồ 3D tương tác, biểu đồ 2D, và báo cáo tự động theo tiêu chuẩn ISO, giúp người dùng dễ dàng kiểm tra, phân tích và lưu trữ dữ liệu.

Nexview™ 650 cũng có khả năng hoạt động trong môi trường dây chuyền sản xuất nhờ tích hợp giao tiếp với robot và cánh tay cơ khí, hỗ trợ quy trình đo tự động. Tính năng “Smart Setup” giúp giảm thiểu thao tác thủ công và rút ngắn thời gian hiệu chuẩn.

Bên cạnh đó, ZYGO Nexview™ 650 còn nổi bật nhờ:

• Độ phân giải chiều cao lên tới 0.1 nm, phù hợp với yêu cầu đo lớp phủ mỏng, màng mỏng, wafer bán dẫn,…

• Trường quan sát lớn và có thể điều chỉnh được, phục vụ cho cả ứng dụng quan sát vùng rộng hoặc chi tiết nhỏ.

• Khả năng đo bề mặt bóng, mờ hoặc kết cấu phức tạp mà không cần xử lý mẫu trước.

Máy cũng hỗ trợ đo trong cả hai chế độ: đo quét nhanh (continuous scan) và đo chính xác cao (stitching mode), cho phép linh hoạt điều chỉnh theo yêu cầu cụ thể.

Đánh giá tổng quan

Với sự kết hợp giữa công nghệ đo giao thoa tiên tiến, phần mềm phân tích mạnh mẽ, khả năng tự động hóa cao và thiết kế cơ khí vững chắc, ZYGO Nexview™ 650 xứng đáng là lựa chọn hàng đầu cho các doanh nghiệp và phòng thí nghiệm đòi hỏi sự chính xác và hiệu quả trong đo lường bề mặt. Máy không chỉ giúp tiết kiệm thời gian, chi phí mà còn nâng cao chất lượng kiểm soát sản phẩm trong các ngành công nghiệp bán dẫn, quang học, cơ khí chính xác và y sinh.

Liên hệ ngay chúng tôi để được tư vấn trực tiếp hiệu suất đo lường vượt trội của Nexview 650 từ ZYGO.