Kính hiển vi lực nguyên tử Park NX-Hivac – Park Systems

Park NX-Hivac – AFM Chân Không Cao cho Phân Tích Hỏng Hóc và Nghiên Cứu Vật Liệu Nhạy Cảm Môi Trường

Lý tưởng cho Phân tích hỏng hóc và Nghiên cứu vật liệu nhạy cảm

Park NX-Hivac là hệ thống AFM chân không cao, lý tưởng cho việc phân tích hỏng hóc bán dẫn chính xác và nghiên cứu các vật liệu nhạy cảm. Hoạt động trong môi trường chân không cao, thiết bị mang lại độ chính xác và độ lặp lại được cải thiện, đồng thời giảm thiểu hư hại cho đầu dò và mẫu.

Đây là công cụ then chốt cho nhiều ứng dụng, bao gồm đánh giá nồng độ chất pha tạp bằng kỹ thuật Kính hiển vi điện trở tán xạ (SSRM – Scanning Spreading Resistance Microscopy).

Với phần mềm trực quan Hivac Manager và khả năng điều khiển chân không tự động, Park NX-Hivac giúp đơn giản hóa quy trình tạo môi trường chân không và nhanh chóng đạt điều kiện cần thiết.

Park NX-Hivac mang đến khả năng nghiên cứu độ chính xác cao trong môi trường chân không không chứa oxy, đảm bảo chất lượng đo đạc và phân tích tối ưu.

AFM Chân không cao cho Phân tích hỏng hóc và Nghiên cứu vật liệu nhạy cảm với môi trường

Park NX-Hivac cho phép các kỹ sư phân tích hỏng hóc cải thiện độ nhạy và độ lặp lại của các phép đo AFM trong môi trường chân không cao.

Bởi vì phép đo trong môi trường chân không cao mang lại độ chính xác cao hơn, khả năng lặp lại tốt hơn và giảm thiểu hư hại đầu dò cũng như mẫu so với môi trường không khí hoặc khí N₂ khô, người dùng có thể đo dải tín hiệu phản hồi rộng trong nhiều ứng dụng phân tích hỏng hóc, chẳng hạn như xác định nồng độ chất pha tạp bằng kỹ thuật SSRM (Scanning Spreading Resistance Microscopy).

Park NX-Hivac cũng mở ra khả năng nghiên cứu khoa học vật liệu đòi hỏi độ chính xác và độ phân giải cao trong môi trường chân không không chứa oxy và các tác nhân khác.

Nâng cao hiệu suất SSRM với công nghệ chân không cao

Thực hiện các phép đo Scanning Spreading Resistance Microscopy (SSRM) trong điều kiện chân không cao có thể giảm lực tương tác cần thiết giữa đầu dò và mẫu, từ đó giảm đáng kể hư hại cho cả mẫu và đầu dò.

Điều này giúp kéo dài tuổi thọ đầu dò, làm cho quá trình quét trở nên kinh tế và thuận tiện hơn, đồng thời cung cấp kết quả chính xác hơn nhờ cải thiện độ phân giải không gian và tỷ lệ tín hiệu trên nhiễu.

Vì vậy, các phép đo SSRM trong môi trường chân không cao với NX-Hivac là lựa chọn tối ưu cho các kỹ sư phân tích hỏng hóc muốn tăng năng suất, giảm chi phí và nâng cao độ chính xác.\