Kính hiển vi lực nguyên tử Park Fx200 – Park Systems

Park FX200 – AFM tiên tiến nhất cho mẫu tới 200 mm

Park FX200 là phiên bản đột phá trong dòng AFM mẫu lớn, được thiết kế để xử lý các mẫu có kích thước lên đến 200 mm, kết hợp độ chính xác vượt trội, ổn định cơ học hàng đầu và tự động hóa thông minh.

Thiết kế cơ học đỉnh cao – Ổn định & chính xác tuyệt đối

• Giảm thiểu nhiễu và trôi nhiệt nhờ kết cấu cứng chắc, vật liệu tương thích giãn nở thấp và hệ dẫn hướng Z mạnh mẽ với cross-roller và khối ổ bi.

• Thiết kế quét vuông góc (Orthogonal Scan System) đảm bảo chuyển động XY/Z độc lập, giảm méo hình ảnh và tăng độ chính xác đo.

Tự động hóa thông minh – Tối ưu năng suất

• Đổi đầu dò tự động với khay chứa 16 đầu dò, gắn chip chuẩn kinematic, tích hợp mã QR chứa thông tin đầu dò, giúp nhận diện và thay thế chính xác, nhanh chóng.

• Căn chỉnh tia laser tự động nhờ hệ thống định vị quang học và gương điều chỉnh, đảm bảo điểm laser luôn đúng vị trí trên cảm biến PSPD — giúp tối ưu hiệu quả mỗi lần thiết lập.
• Camera quan sát mẫu (sample-view) với trường nhìn toàn bộ 200 mm cho phép chọn vị trí quét bằng “click”, cực kỳ tiện lợi khi thao tác trên wafer lớn.

Tập trung vào trải nghiệm người dùng – Nâng cao hiệu quả

• Chế độ quét không chạm (True Non-Contact™ Mode) mang lại hình ảnh topography chính xác mà ít tổn thương mẫu và đầu dò.

• Tối ưu tham số quét tự động, lấy nét tự động (autofocus) và quét tuần tự trên nhiều vị trí (sequential measurements) giúp giảm thao tác thủ công và tăng tốc thu dữ liệu.
• Phần mềm SmartScan & SmartAnalysis: giao diện thân thiện, tự động hóa quá trình quét và xử lý hình ảnh, hỗ trợ xuất báo cáo nhanh chóng.

Ứng dụng rộng rãi trong nghiên cứu và công nghiệp

• Phù hợp với các mẫu lớn như wafer bán dẫn (200 mm), vật liệu mới, mẫu hóa học/phân tử, mà vẫn giữ nguyên chất lượng và ổn định kết quả.

• Thích hợp cho cả phòng thí nghiệm nghiên cứu lẫn quy trình sản xuất công nghiệp, nơi cần độ tin cậy cao, tốc độ và tự động hóa.