Kính hiển vi lực nguyên tử Park NX20 – Park Systems

Park NX20 – Chuẩn mực mới cho khảo sát mẫu lớn trong R&D & phân tích bán dẫn

Park NX20 là nền tảng AFM thế hệ mới, được phát triển chuyên biệt cho mẫu kích thước lớn (bao gồm tới 300 mm wafer) — lý tưởng cho các ứng dụng phân tích lỗi (FA), đảm bảo chất lượng (QA) và kiểm soát chất lượng (QC) trong ngành bán dẫn.

Công cụ đo lường nano hàng đầu cho phân tích lỗi

Park NX20 là giải pháp tối ưu cho phân tích lỗi (Failure Analysis) và đo lường bán dẫn (semiconductor metrology). Hệ thống mang đến các phép đo chính xác, chuẩn xác và có khả năng tái lặp cao, nổi bật với:

• Chế độ không tiếp xúc (non-contact mode) giúp bảo toàn độ sắc của đầu dò.

• Khả năng chụp ảnh nhanh các khuyết tật (fast defect imaging).

• Hệ thống quét XY tách biệt (decoupled XY scanning) cho phép đo 3D chính xác.

• Bộ dò Z nhiễu thấp (low-noise Z detector) đảm bảo đo địa hình bề mặt (topography) chính xác, không bị sai số khi quét tốc độ cao.

Hình ảnh và phân tích khuyết tật cho mẫu lớn

Park NX20 được trang bị các tính năng độc đáo giúp việc tìm ra nguyên nhân gây lỗi thiết bị trở nên dễ dàng hơn, từ đó phát triển các giải pháp sáng tạo hơn. Với độ chính xác vượt trội, hệ thống cung cấp dữ liệu độ phân giải cao, cho phép bạn tập trung vào công việc nghiên cứu, trong khi chế độ True Non-Contact™ giúp duy trì độ sắc của đầu dò lâu hơn.

Park NX20 còn sở hữu một trong những thiết kế thân thiện với người dùng nhất cùng giao diện tự động hóa tiên tiến trong ngành. Nhờ đó, bạn sẽ không cần phải dành quá nhiều thời gian và công sức để vận hành thiết bị hay giám sát các kỹ sư trẻ trong quá trình sử dụng. Điều này cho phép bạn tập trung kinh nghiệm của mình vào việc giải quyết những vấn đề lớn hơn, đồng thời mang lại các phân tích lỗi (failure analysis) có chiều sâu và kịp thời cho khách hàng.

Bộ quét 2D dẫn hướng bằng khớp đàn hồi với phạm vi quét 100 µm x 100 µm

Bộ quét XY bao gồm hệ thống khớp đàn hồi đối xứng hai chiều kết hợp với các khối áp điện lực cao, mang lại khả năng dịch chuyển trực giao chính xác với độ lệch ngoài mặt phẳng tối thiểu, đồng thời đảm bảo độ phản hồi nhanh – yếu tố thiết yếu cho việc quét mẫu chính xác ở thang nanomet.

Bộ quét Z tốc độ cao với phạm vi quét 15 µm

Được điều khiển bởi khối áp điện lực cao và dẫn hướng bằng cấu trúc khớp đàn hồi, bộ quét Z tiêu chuẩn có tần số cộng hưởng 9 kHz. Phạm vi quét Z tối đa có thể được mở rộng từ 15 µm lên 30 µm với tùy chọn bộ quét Z phạm vi dài.

Cảm biến vị trí XYZ nhiễu thấp

Bộ dò Z nhiễu thấp hàng đầu trong ngành thay thế điện áp Z áp dụng như một tín hiệu địa hình. Ngoài ra, hệ thống quét vòng kín XY nhiễu thấp giúp giảm thiểu sai lệch giữa quét tiến và quét lùi xuống dưới 0,15% của phạm vi quét.