Kính hiển vi lực nguyển tử Park NX20 300mm – Park Systems

Park NX20 300 mm – Công cụ đo lường nano hàng đầu cho wafer lớn

Park NX20 300 mm là lựa chọn hàng đầu cho kiểm tra AFM trên mẫu lớn, được thiết kế đặc biệt cho phân tích lỗi (FA), đảm bảo chất lượng (QA) và kiểm soát chất lượng (QC) trong các ứng dụng bán dẫn. Với phạm vi di chuyển motor hóa lên đến 300 mm × 300 mm, hệ thống này thiết lập một tiêu chuẩn mới trong ngành.

Công nghệ tiên tiến này loại bỏ nhu cầu dịch chuyển mẫu phức tạp, cho phép kiểm tra hiệu quả toàn bộ wafer 300 mm. Đối với các kỹ sư FA, QA và QC làm việc với mẫu lớn, Park NX20 300 mm chính là cánh cổng dẫn đến sự vượt trội trong kiểm tra và phân tích AFM wafer bán dẫn.

Được thiết kế chuyên biệt cho kiểm tra wafer mẫu lớn

NX20 300 mm được phát triển từ đầu nhằm tối ưu hóa các phép đo trên mẫu lớn. Toàn bộ khu vực wafer 300 mm có thể được phân tích bằng các phép đo AFM có độ nhiễu thấp, mở ra một phạm vi hoàn toàn mới cho tự động hóa đo lường. Điều này cho phép các kỹ sư làm việc nhanh hơn, đơn giản hơn và với độ chính xác cao hơn.

Tự động hóa hoàn toàn chỉ với một lần nhấp chuột

Park NX20 được trang bị phần mềm vận hành SmartScan, giúp nó trở thành một trong những hệ thống AFM dễ sử dụng nhất trên thị trường. Với giao diện trực quan nhưng vô cùng mạnh mẽ, ngay cả những người dùng chưa được đào tạo cũng có thể nhanh chóng quét một mẫu lớn mà không cần giám sát. Điều này cho phép các kỹ sư giàu kinh nghiệm tập trung vào việc giải quyết những vấn đề lớn hơn và phát triển các giải pháp tối ưu hơn.

Tối ưu hóa cho nhiều ứng dụng khác nhau

NX20 300mm cung cấp khả năng đo AFM tự động theo quy trình (recipe-automated) cho nhiều ứng dụng, mang đến các phép đo và phân tích tiên tiến của mẫu ở cấp độ nano. Hệ thống có thể đo độ nhám, chiều cao và độ sâu, thực hiện kiểm tra lỗi (defect review), phân tích sự cố điện và từ tính, đặc trưng tính chất nhiệt, cũng như chụp ảnh tính chất cơ học nano. Nhờ đó, AFM này đặc biệt phù hợp cho nhiều nhiệm vụ khác nhau do các kỹ sư FA (Failure Analysis), QA (Quality Assurance) và QC (Quality Control) thực hiện trên các mẫu kích thước lớn.

Điểm nổi bật của Park NX20 3300mm

• Khả năng quét full-wafer không gián đoạn hỗ trợ toàn bộ bề mặt wafer 300 mm bằng bước di chuyển motorized, nâng cao hiệu năng và tiết kiệm thời gian

• Hệ thống tự động hóa (SmartScan & Batch/Program Mode) giúp thiết lập chế độ quét theo “công thức” và thực hiện tuần tự nhiều vị trí ngay trên single loading, lý tưởng cho FA, QA/QC engineers

• Bộ dò Z siêu tĩnh (noise chỉ ~0.02 nm) đảm bảo ảnh topography chất lượng cao, không bị méo cạnh (edge overshoot), tăng độ tin cậy dữ liệu

• Hỗ trợ đa chế độ AFM từ cơ bản đến nâng cao: đo độ nhám, review lỗi (defect review), phân tích điện – từ – nhiệt, phân tích cơ học nano… đáp ứng đầy đủ nhu cầu R&D và sản xuất bán dẫn

• Thiết kế linh hoạt mở (Open-Access) cùng nhiều tùy chọn phụ kiện môi trường (nhiệt, hóa học,…) – dễ tích hợp vào môi trường nghiên cứu khác nhau