Kính hiển vi điện tử quét Axia ChemiSEM

Mô tả

Kính hiển vi điện tử quét Axia ChemiSEM là dòng SEM thế hệ mới của Thermo Scientific. Máy tích hợp sẵn công nghệ ChemiSEM, cho phép xem thành phần nguyên tố ngay khi bật chùm điện tử. Sản phẩm phù hợp với phòng thí nghiệm vật liệu, kiểm soát chất lượng và phân tích lỗi sản phẩm.

Kính hiển vi điện tử quét Axia ChemiSEM và công nghệ ChemiSEM độc quyền

Kính hiển vi điện tử quét Axia ChemiSEM dùng một bộ tạo quét duy nhất. Bộ này điều khiển đồng thời tín hiệu SE/BSE và tia X. Nhờ vậy, dữ liệu hình ảnh và dữ liệu nguyên tố luôn khớp nhau tuyệt đối. Ngay khi bật chùm điện tử, thông tin thành phần nguyên tố đã hiển thị trực tiếp bằng màu sắc trên ảnh. Người dùng không cần thiết lập vùng quét EDS hay chờ xử lý hậu kỳ như quy trình truyền thống. Thời gian lưu trú điểm quét có thể xuống tới 100 ns. Điều này phù hợp với mẫu nhạy chùm tia và ứng dụng cần thông lượng cao.

Trong quy trình phân tích lỗi điển hình, thời gian thực hiện giảm gần một nửa so với cách làm cũ. Một số lợi ích nổi bật như sau.

• Phân tích nguyên tố tức thời, không cần thao tác thiết lập phức tạp.
• Dữ liệu ảnh và EDS luôn đồng nhất vị trí, tránh sai lệch khi ghép lớp.
• ChemiPhase nhận diện pha vật liệu tự động, không cần biết trước thành phần.

Nhờ các đặc điểm này, người mới sử dụng vẫn thao tác được ngay từ lần đầu.

Hình 1: Bản đồ nguyên tố hiển thị trực tiếp trên màn hình vận hành

Vận hành không cần canh chỉnh nhờ SmartAlign và User Guidance

Máy tự động quản lý các bước căn chỉnh nhờ công nghệ SmartAlign. Người dùng không cần lặp lại quy trình canh cột điện tử mỗi khi đổi điện áp gia tốc. Nhờ đó, kính hiển vi điện tử quét Axia ChemiSEM luôn ở trạng thái sẵn sàng chụp ảnh. Tính năng lấy nét tự động cho kết quả rõ nét chỉ trong một lần bấm. Thời gian xử lý chưa đến 6 giây. Công cụ User Guidance đi kèm hướng dẫn từng bước theo loại mẫu vật. Ví dụ như kim loại, khoáng vật, polymer hay mẫu sinh học.

Camera Nav-Cam hỗ trợ định vị mẫu bằng hình ảnh quang học màu. Người dùng có thể lưu vị trí và quay lại vùng quan tâm cũ dễ dàng. Thao tác điểm và nhấp chuột hoạt động trên toàn bộ đế mẫu. Một số điểm nổi bật khác của máy như sau.

• Chế độ giảm tốc chùm tia (BD) cải thiện độ phân giải trên mẫu cách điện.
• Chế độ chân không thấp điều chỉnh áp suất tới 150 Pa cho mẫu không dẫn điện.
• Công nghệ SmartScan và DCFI giảm nhiễu, bù trôi ảnh trong quá trình quét.

Hình 2: Đế mẫu đa dạng loại mẫu qua camera Nav-Cam

Khay mẫu linh hoạt, tải trọng tới 10 kg cùng phần mềm tự động hóa

Buồng mẫu có cửa mở toàn phần, giúp thao tác gá mẫu dễ dàng hơn. Bàn mẫu chịu tải tối đa 10 kg, phù hợp với mẫu công nghiệp kích thước lớn. Nhờ đó, người dùng không cần cắt nhỏ mẫu, tránh làm hỏng vị trí cần phân tích. Đế mẫu tiêu chuẩn chứa được tới 7 stub. Ngoài ra, máy nhận mẫu đơn có đường kính tới 280 mm. Hệ bơm chân không cải tiến giúp bật chùm điện tử trong chưa đầy hai phút.

Máy còn hỗ trợ phần mềm Maps để tự động ghép ảnh và chạy theo lịch qua đêm. AutoScript 4 dựa trên Python giúp tự động hóa các thao tác lặp lại. Ví dụ như quét theo vùng hoặc dò tìm đặc trưng mẫu. Nhờ mức tự động hóa cao, phòng thí nghiệm khai thác kính hiển vi điện tử quét Axia ChemiSEM hiệu quả hơn mỗi ngày.

Hình 3: Phân tích pha vật liệu bằng công nghệ ChemiPhase

Kính hiển vi điện tử quét Axia ChemiSEM phân tích nguyên tố nhanh, gá được mẫu tới 10 kg. Máy tự động hóa gần hết thao tác canh chỉnh, phù hợp cả người mới lẫn chuyên gia.

Quý khách cần tư vấn cấu hình và báo giá xin vui lòng liên hệ ngay hôm nay.