Hệ thống Phản Xạ Kế FilmTek 2000M

Mô tả ngắn

Hãng sản xuất: Bruker

FilmTek 2000M của Bruker là thiết bị phản xạ kế phổ không tiếp xúc, sử dụng chùm sáng gần song song với điểm đo siêu nhỏ 1 × 2 µm, cho phép đo chính xác độ dày màng từ 5 nm đến 350 µm trên cả cấu trúc vi mô và mẫu lớn; hệ thống tích hợp stage tự động, camera quan sát và nhận diện mẫu, phù hợp cho ứng dụng bán dẫn và vi điện tử.

HỖ TRỢ NHANH

Thiết bị: 0983 169 517

Hóa chất: 0912 850 130

THÔNG TIN SẢN PHẨM

Mô tả

Mô tả

Tóm tắt nội dung

Phản xạ kế để đo độ dày của màng mỏng đến rất dày trên các đặc điểm của thiết bị có kích thước vi mô

Hệ thống phản xạ kế FilmTek 2000M™ cung cấp kích thước điểm đo nhỏ tới 1 × 2 µm và sử dụng chùm sáng gần song song. Cách tiếp cận này cho phép đo chính xác, không tiếp xúc đối với các màng từ rất mỏng đến rất dày.

Với khả năng xử lý wafer tự động, máy quét mã vạch 1D/2D và nhận dạng hoa văn, thiết bị phản xạ kế có thể thực hiện đo đạc trực tiếp trên toàn bộ wafer thiết bị, loại bỏ nhu cầu suy đoán hiệu suất tổng thể từ một vùng mẫu hạn chế.

Phản xạ kế FilmTek 2000M™ sở hữu thiết kế quang học điểm đo siêu nhỏ và khả năng đo trên nhiều loại màng với dải độ dày rộng, đáp ứng cho nhiều lĩnh vực ứng dụng khác nhau, kể cả các mẫu có độ dày vượt xa phạm vi đo của các hệ thống thông thường.

Màng dày

Cho phép đặc trưng chính xác các mẫu có độ dày vượt xa phạm vi đo được của các hệ thống khác trên thị trường

Điểm đo nhỏ

Đạt được kích thước điểm đo nhỏ tới 2 µm, phù hợp cho các cấu trúc vi mô.

Đa năng

Có thể đo trên nhiều loại màng với dải độ dày rộng, đáp ứng cho nhiều lĩnh vực ứng dụng khác nhau.

Khả năng đo lường của phản xạ kế FilmTek 2000M

Độ dày nhiều lớp
Chỉ số khúc xạ [ n(λ) ]
Hệ số hấp thụ (hấp thụ) [ k(λ) ]
Khoảng cách dải năng lượng [ Eg ]
Phép đo kích thước tới hạn (CD)
Thành phần hệ thống

Tiêu chuẩn:

Đo phản xạ quang phổ
Phạm vi độ dày màng từ 5nm đến 350µm
Kích thước điểm 2µm (tiêu chuẩn 5×10µm)
Bàn mẫu tự động với chức năng tự động lấy nét
Camera chụp ảnh vị trí đo lường
Nhận dạng mẫu
Phần mềm mô hình hóa vật liệu tiên tiến
Mô hình vật liệu tổng quát của Bruker với các thuật toán tối ưu hóa toàn cục tiên tiến

Tùy chọn:

Xử lý wafer tự động
SECS/GEM

Các lĩnh vực ứng dụng điển hình

Cảm biến & Thiết bị Y tế

Hệ thống phản xạ kế giúp nâng cao chất lượng, tính nhất quán và hiệu suất của các thiết bị và cảm biến y tế với phép đo độ dày chính xác và mạnh mẽ của màng hoạt tính sinh học.

Thiết bị đo lường màng mỏng phản xạ kế FilmTek cho phép đo lường tự động không tiếp xúc và lập bản đồ độ dày màng trên toàn bộ wafer cho cảm biến glucose, lập bản đồ độ dày lớp phủ trên bề mặt hàm kim loại và xác định độ dày màng cho các lớp chồng nhiều lớp trong cảm biến máu dùng một lần.